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GaAs安oxford安instruments GaAs/AlGaAs安拋光單晶/硒化鋁釔_-珠海市美佳特生物科技控股

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 放大字體  縮小字體    發(fā)布日期：2021-01-26  來源：儀器網(wǎng)  作者：Mr liao  瀏覽次數(shù)：67
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oxford-instruments GaAs/AlGaAs-刻蝕砷化鎵/砷化鋁鎵刻蝕GaAs/AlGaAs-刻蝕砷化鎵/砷化鋁鎵使用PlasmaProTMSystemRIE100 刻蝕GaAs/AlGaAs推薦刻蝕氣體：SiCl4-Ar推薦使用的等離子體清潔氣體：O2-SF6晶片大直徑200mm 刻蝕速率50-150nm/min (依賴與批處理的數(shù)量) 均勻性

 
關(guān)鍵詞： 刻蝕 GaAs AlGaAs 砷化鎵
 
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