在過去的20年里，精密和超精密加工技術(shù)行業(yè)對(duì)表面質(zhì)量和性能的評(píng)價(jià)提出了越來越高的要求。因此，表面測量技術(shù)已經(jīng)從傳統(tǒng)的二維接觸發(fā)展到三維光學(xué)非接觸。

　　1.接觸式測量

　　接觸式測量是1927年以來采用的一種傳統(tǒng)的粗糙度測量方法。其測量原理是：當(dāng)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)傳感器沿著工件的測量表面以恒定的速度移動(dòng)時(shí)，傳感器的測量針隨著工件表面的微波動(dòng)而上下移動(dòng)，測量針的運(yùn)動(dòng)通過傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，電信號(hào)的變化通過后期電路的處理和計(jì)算得到工件表面粗糙度的參數(shù)值。

　　接觸粗糙度測量儀器主要包括中圖儀器SJ5701系列臺(tái)式和SJ325便攜式兩種，可滿足不同客戶的測量需求。

SJ5701粗糙度輪廓測量儀

　　三維光學(xué)測量的粗糙度主要包括共聚焦微測量和白光干涉測量。

　　2.共聚焦顯微鏡方法

　　包括共聚焦顯微鏡LED光源，旋轉(zhuǎn)多針孔板，物鏡和壓電驅(qū)動(dòng)器CCD相機(jī)。LED多針孔盤的光源（MPD）物鏡聚焦在樣品表面，從而反射光線。反射光通過MPD針孔減少到聚焦部分CCD在相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)，但在共焦圖像中，模糊的細(xì)節(jié)（未聚焦）通過多針孔板的操作被過濾掉，只有聚焦平面上的光到達(dá)CCD照相機(jī)。因此，共聚焦顯微鏡可以在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。每個(gè)共聚焦圖像通過樣品形狀的水平切片在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像，通過壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移實(shí)現(xiàn)共聚焦顯微鏡。在軟件從共聚焦圖像中重建精確的三維高度圖像后，通常在幾秒鐘內(nèi)捕獲200到400個(gè)共聚焦圖像。

　　3.白光干涉法

　　白光干涉儀是一種高精度工具，用于測量表面形狀，可達(dá)到0.1納米的超高分辨率，用于測量超高精度3D表面粗糙度，中圖儀表SuperViewW1系列已廣泛應(yīng)用于各科研院所、高校、光電企業(yè)、半導(dǎo)體芯片企業(yè)。

　　中圖儀器作為中國領(lǐng)先的測量儀器研發(fā)和制造商，依托十多年的技術(shù)沉淀和卓越的產(chǎn)品質(zhì)量，將繼續(xù)為國內(nèi)外客戶提供更加多樣化的表面粗糙度測量方案和設(shè)備。