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方案優(yōu)勢
浸入式光刻是指在光刻機投影鏡頭與半導(dǎo)體硅片之間用一種液體充滿，從而獲得更好分辯率及增大鏡頭的數(shù)值孔徑，進而實現(xiàn)更小曝光尺寸的一種新型光刻技術(shù)。日本ATAGO（愛宕）是全球折光儀產(chǎn)品的領(lǐng)導(dǎo)者，其獨有的高折射率阿貝折射儀及多波長阿貝折射儀在光刻機領(lǐng)域高折射率浸入液的研究與高折射率鏡頭的研究中具有不可替代的作用。
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沖繩ATAGO（愛宕）折光儀在刻蝕的設(shè)備之中的應(yīng)用領(lǐng)域檢查科學(xué)儀器
核心提示：方案優(yōu)勢
浸入式光刻是指在光刻機投影鏡頭與半導(dǎo)體硅片之間用一種液體充滿，從而獲得更好分辯率及增大鏡頭的數(shù)值孔徑，進而實現(xiàn)更小曝光尺寸的一種新型光刻技術(shù)。日本ATAGO（愛宕）是全球折光儀產(chǎn)品的領(lǐng)導(dǎo)者，其獨有的高折射率阿貝折射儀及多波長阿
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