91儀器信息網(wǎng)訊 2019年7月10日，由中國物理學會半導體物理專業(yè)委員會主辦的第二十二屆全國半導體物理學術(shù)會議(SPC2019)在杭州第一世界大酒店盛大開幕。朱邦芬院士、黃如院士、杜瑞瑞教授、段鑲鋒教授、熊啟華教授、彭笑剛教授、陸衛(wèi)教授、陸朝陽教授等業(yè)界知名學者蒞臨大會并作大會特邀報告，大會同時吸引半導體物理學領(lǐng)域逾千名專家學者同聚杭州，共議半導體物理學國際重大前沿領(lǐng)域的發(fā)展動向。

會議簽名墻

全國半導體物理學術(shù)會議最早由已故世界著名物理學家、國家最高科學技術(shù)獎獲獎者黃昆院士于1978年倡導召開，每兩年舉行一次(奇數(shù)年召開)，與兩年一次的國際半導體物理會議(偶數(shù)年召開)交錯進行。會議宗旨是促進國內(nèi)半導體物理研究領(lǐng)域的學術(shù)交流，把握國際重大前沿領(lǐng)域的發(fā)展動向，提升國內(nèi)半導體物理及相關(guān)學科的國際影響力。

大會現(xiàn)場

本屆會議由浙江大學物理學系和浙江大學硅材料國家重點實驗室承辦。會議將由9個特邀大會報告以及九大主題分會場的分會報告組成，同時，本屆會議期間，還將公布2017-2018年度黃昆物理學獎(兩年一度)的獲獎人，獲獎學者將就獲獎工作做專題報告。

大會首日上午，首先進行了大會開幕式和大會報告上半部分的5個大會邀請報告。

浙江大學物理系吳惠楨教授主持大會

浙江大學副校長嚴建華致辭

大會主席中國科學院院士楊德仁致辭

大會報告人：中國科學院院士 清華大學物理系 朱邦芬

報告題目：一個大寫的人和中國固體物理的奠基人——紀念黃昆先生百年誕辰

報告中，朱邦芬談到自己與黃昆先生在一個辦公室研究達15年之久，每天都跟他討論問題，無拘無束，有幸成為世上受他教誨最多的一個人。黃昆先生離開我們已有 年了，離開越久，越感到他人格的偉大，越覺得他做事站在全國的高度而不是從本單位本領(lǐng)域出發(fā)精神的可貴，越思念他一生奮戰(zhàn)在教學和科研第一線的大師風范及科學精神，這些都是我國當前最欠缺和急需的。隨之，朱邦芬與大家共同追憶了黃昆先生如何做人、做事、做學問，并期待他的大師風范為更多的年青一代半導體物理和技術(shù)專家學習繼承。

大會報告人：中國科學院院士 北京大學 黃如

報告題目：后摩爾時代微電子技術(shù)發(fā)展——探索與思考

隨著微電子技術(shù)和信息系統(tǒng)的飛速發(fā)展，后摩爾時代算力瓶頸問題日漸突出，系統(tǒng)面臨著功耗墻、存儲墻等關(guān)鍵難題，報告中黃如分享討論了后摩爾時代面臨的核心技術(shù)挑戰(zhàn)，接著對不同算力需求下的微電子器件技術(shù)發(fā)展進行探討，并展望了適于算存融合范式的新器件技術(shù)。

大會報告人：美國加州大學洛杉磯分校段鑲峰教授

報告題目：Van der Waals Integration a New Pathway to Artificial Heterostructures and High Performance Devices

不同材料的異構(gòu)集成是材料科學界的長期追求，為現(xiàn)代電子學和光電子學奠定了物質(zhì)基礎(chǔ)。典型的材料集成策略(例如化學外延生長)通常涉及強化學鍵，并且通常限于具有嚴格的結(jié)構(gòu)匹配和處理兼容性的材料。報告中，段鑲峰介紹了范德瓦爾斯集成作為一種通用材料集成策略，用于創(chuàng)建具有最小集成引起的損傷和界面狀態(tài)的各種異質(zhì)結(jié)構(gòu)，從而使用傳統(tǒng)難以實現(xiàn)的“化學集成”方法實現(xiàn)高性能。近來亮點工作包括形成沒有費米能級釘扎以達到肖特基-莫特極限的范德華金屬/半導體觸點，用于高性能大面積電子設備新型薄膜的開發(fā)。并且創(chuàng)建了一類新的范德瓦爾斯二維超晶格，每層具有完全不同的層，同時具有原子精度等。最后，段鑲峰展望了這種異構(gòu)結(jié)構(gòu)的潛力，以逐漸接近物理極限，使設備具有前所未有的性能或現(xiàn)有材料無法達到的全新功能，以及相關(guān)的挑戰(zhàn)。

大會報告人：浙江大學化學系 彭笑剛教授

報告題目：溶液半導體納米晶：激發(fā)態(tài)合成控制與應用

溶液半導體納米晶是在溶液中合成與加工的納米尺寸無機半導體單晶。如果半導體納米晶尺寸在半導體激子半徑范圍內(nèi)，那么納米晶將表現(xiàn)出尺寸相關(guān)的光學、電學、化學特性，因而得名為溶液量子點(Colloidal Quantum Dots)。由于它們尺寸相關(guān)的光學性質(zhì)、高發(fā)光純度、高化學與光化學穩(wěn)定性、溶液加工性，溶液半導體納米晶可能是人類至今為止發(fā)現(xiàn)的最優(yōu)秀發(fā)光材料和光電材料。彭笑剛報告中介紹到，溶液半導體納米晶已經(jīng)被研究了40余年，但它們潛在的應有價值直到最近才部分得以實現(xiàn)。與體相晶體不同，溶液半導體納米晶擁有大量的表面。大量表面的存在，是溶液量子點靈活性的基礎(chǔ)，但也會帶來大量的表面電子態(tài)。接著為繞發(fā)光和光電材料的核心——激發(fā)態(tài)，進行了一系列相關(guān)討論，如：怎樣把合成化學與激發(fā)態(tài)性質(zhì)緊密結(jié)合?有可能結(jié)合嗎?激發(fā)態(tài)合成化學意味著怎樣的基礎(chǔ)研究機會?激發(fā)態(tài)合成化學與應用關(guān)系如何?

大會報告人：帕克原子力顯微鏡(Park Systems)創(chuàng)始人&CEO Sang-il Park博士

報告題目：Advanced Atomic Force Microscopy for Semiconductor Metrology

Sang-il Park博士在報告中講到，在人類科學進入納米級研究和開發(fā)世界背景下，原子力顯微鏡(AFM)已被廣泛使用，因為它可以在多種類型樣品和多種環(huán)境條件下提供納米級的各種物理性質(zhì)參數(shù)。隨著近來AFM自動化技術(shù)的發(fā)展，AFM的應用正在擴展延伸至硬盤制造、半導體工業(yè)等工業(yè)領(lǐng)域。特別是由于半導體器件尺寸的減小及其對器件性能的直接影響，微、納米結(jié)構(gòu)的精確測量和分析正成為一個極其重要的問題。此外，用于微觀結(jié)構(gòu)測量的設備(CD-SEM、TEM、OCD等)的局限性也在不斷增加(如分辨率限制、試樣制備和測量造成的試樣損傷等)。為克服這些挑戰(zhàn)， AFM的無損納米結(jié)構(gòu)測量和廣泛利用的能力正在引起關(guān)注，并正在成為下一代在線測量解決方案之一。接著分享了帕克原子力顯微鏡根據(jù)這些需求開發(fā)的一系列半導體AFM解決方案，以及相應的關(guān)鍵AFM技術(shù)，也介紹了一些半導體計量成功案例。同時透露，測量高分辨率3D AFM計量的新應用也正在探索中，且半導體行業(yè)也正在開發(fā)一種新協(xié)議，以提高產(chǎn)量和器件性能。

各分會場掠影

同天下午，九個主題分會場報告同時上演，來自全國各地的半導體物理學專家們在各個會場紛紛進行了現(xiàn)場報告及互動交流。更多會議后續(xù)內(nèi)容，請關(guān)注91儀器信息網(wǎng)后續(xù)報道。

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