不久前，半導(dǎo)體行業(yè)觀察在文章國(guó)內(nèi)高端測(cè)試儀器市場(chǎng)困境，介紹了當(dāng)前時(shí)代，隨著新興技術(shù)和市場(chǎng)的興起，芯片技術(shù)越來(lái)越復(fù)雜，新設(shè)備類(lèi)型不斷出現(xiàn)，許多因素促進(jìn)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)的持續(xù)發(fā)展。

　　為了打破傳統(tǒng)儀器固有的缺陷和局限性，行業(yè)需要更多面向未來(lái)需求的測(cè)試系統(tǒng)和方案。在這種需求和挑戰(zhàn)下，

　　國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)由基倫電子推出FS-Pro，為了應(yīng)對(duì)先進(jìn)設(shè)備研究過(guò)程中新材料、新結(jié)構(gòu)、新工藝的應(yīng)用可能帶來(lái)的未知變化，大大加快了半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的研發(fā)和評(píng)價(jià)過(guò)程。

　　概倫電子FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)

　　由于其在生產(chǎn)線測(cè)試和科研應(yīng)用方面的優(yōu)異表現(xiàn)，F(xiàn)S-Pro綜合測(cè)試能力在科研和學(xué)術(shù)界得到了廣泛的關(guān)注和認(rèn)可，并被許多芯片設(shè)計(jì)公司、OEM工廠和IDM該公司已被國(guó)內(nèi)外數(shù)十所高校和科研機(jī)構(gòu)采用。

　　可以看出，通過(guò)加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作，保持高研發(fā)投入，不斷吸引行業(yè)人才，長(zhǎng)期堅(jiān)持技術(shù)沉淀，努力通過(guò)客戶需求引導(dǎo)不斷豐富制造業(yè)EDA產(chǎn)品布局。

　　研究和開(kāi)發(fā)先進(jìn)的半導(dǎo)體器件，迎新進(jìn)展

　　不久前，為了應(yīng)對(duì)短脈沖測(cè)試過(guò)程中半導(dǎo)體尺寸的不斷縮小(PIV)根據(jù)新技術(shù)要求，北京大學(xué)集成電路學(xué)院和上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院推出了新一代高精度快速波形發(fā)生和測(cè)量套件FS-ProHP-FWGMK，填補(bǔ)了FS-Pro短脈沖試驗(yàn)的空缺也打破了我國(guó)短脈沖試驗(yàn)技術(shù)領(lǐng)域的空白。該設(shè)備結(jié)合同倫電子開(kāi)發(fā)的測(cè)試軟件，實(shí)現(xiàn)了百納秒級(jí)的快速波形發(fā)生和測(cè)量，可廣泛應(yīng)用于鐵電存儲(chǔ)器（FeRAM），阻變存儲(chǔ)器（RRAM）研究新的存儲(chǔ)器件；它還可以支持半導(dǎo)體制造過(guò)程中重要的可靠性測(cè)試，如BTI公司晶圓級(jí)可靠性測(cè)試解決方案中的重要組成部分等。

　　到目前為止，幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro完成試驗(yàn)系統(tǒng)，可廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件，LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型先進(jìn)材料及器件測(cè)試等。作為高端測(cè)試儀器的代表之一，F(xiàn)S-Pro包括晶圓代工和IDM世界領(lǐng)先半導(dǎo)體公司的驗(yàn)證和批量生產(chǎn)應(yīng)用，包括龍頭企業(yè)，在中高端產(chǎn)品領(lǐng)域率先取得突破，成為國(guó)內(nèi)行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者，充分展示其國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力，有望引領(lǐng)浪潮。

　　支持新設(shè)備/材料的應(yīng)用，幫助前沿學(xué)術(shù)研究

　　最近，基倫電子在幫助前沿學(xué)術(shù)研究方面取得了新的進(jìn)展，與多家科研機(jī)構(gòu)和國(guó)內(nèi)大學(xué)合作“2022第二版FS-Pro論文集”，展示了FS-Pro為推動(dòng)半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域的高端學(xué)術(shù)研究，在先進(jìn)器件和材料領(lǐng)域的測(cè)試中表現(xiàn)出色。

　　其中，電子科技大學(xué)劉教授在論文項(xiàng)目中“通過(guò)范德華層狀CuInP2S離子遷移模擬神經(jīng)可塑性”中，將FS-Pro參與類(lèi)神經(jīng)元突觸器件的科學(xué)研究，F(xiàn)S-Pro比其他測(cè)試儀器更快。

　　據(jù)了解，F(xiàn)S-Pro與傳統(tǒng)的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)相比，引入人工智能驅(qū)動(dòng)測(cè)試技術(shù)的測(cè)試速度可達(dá)10倍，在提高強(qiáng)速的同時(shí)仍能保持測(cè)試精度。

　　另外，在“探測(cè)率為2.4*1013Jones近紅外石墨烯有機(jī)光電晶體管的設(shè)計(jì)”電子科技大學(xué)王軍教授在他的論文中使用了它FS-Pro參與光敏突觸晶體管試驗(yàn)、鈣鈦礦量子試驗(yàn)等部件，具有模型參數(shù)提取功能、試驗(yàn)速度快等優(yōu)點(diǎn)。王軍說(shuō)，除了上述優(yōu)勢(shì)外，F(xiàn)S-Pro在軟件功能和低頻噪聲測(cè)試中也有亮眼的表現(xiàn)。

　　軟件方面，F(xiàn)S-Pro系列內(nèi)置LabExpress測(cè)量軟件具有強(qiáng)大的測(cè)試和分析功能，可以提供友好的圖形用戶界面和靈活的設(shè)置。其中，測(cè)試后可以直接擴(kuò)展各種數(shù)據(jù)存儲(chǔ)方法的內(nèi)置強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理能力，導(dǎo)出的數(shù)據(jù)可以供用戶進(jìn)行后續(xù)的分析和研究，也可以直接導(dǎo)入建模軟件BSIMProPlus和MeQLab模型提取和特征分析。

　　在噪聲測(cè)試方面，特別是在二維材料光電探測(cè)器和有機(jī)探測(cè)器研發(fā)領(lǐng)域，F(xiàn)S-Pro獨(dú)特的1/f噪聲測(cè)試能力可以獲得設(shè)備內(nèi)部的缺陷參數(shù)，并獲得更多的深度技術(shù)性能，特別是在計(jì)算檢測(cè)率時(shí)，考慮到1//f通過(guò)噪聲因子獲得的率更準(zhǔn)確。FS-Pro它可以與9812系列噪聲測(cè)試系統(tǒng)無(wú)縫集成，速度快DC進(jìn)一步提高9812系列產(chǎn)品的噪聲測(cè)試效率。

　　在西湖大學(xué)洪燾教授“高性能波導(dǎo)集成硅光集成電路Bi2O2Se光電探測(cè)器”論文中，F(xiàn)S-Pro高性能光電流響應(yīng)試驗(yàn)和1//1f快速噪音測(cè)試I-T光電流到光電流響應(yīng)的測(cè)試能力。

　　教授指出：“1/f噪聲測(cè)試和分析能力對(duì)探測(cè)器非常有幫助。使用后提供的噪聲測(cè)試已得到國(guó)際同行的認(rèn)可，并發(fā)表給我們ACSNANO提供了很大的幫助?！?/p>

　　在器件的I-T試驗(yàn)表征，F(xiàn)S-ProSMU優(yōu)秀的能力已經(jīng)被市場(chǎng)驗(yàn)證，高達(dá)1us采樣率，10萬(wàn)點(diǎn)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量，實(shí)現(xiàn)了行業(yè)SMU做I-T較高的測(cè)試指標(biāo)。

　　孫東明教授，中國(guó)科學(xué)院金屬研究所“超靈敏的Mo雙異質(zhì)結(jié)晶晶體管”中，采用FS-Pro用于計(jì)算檢測(cè)率的測(cè)試響應(yīng)參數(shù)、噪聲測(cè)試，為二維材料光電探測(cè)器的超高靈敏度提供幫助。

　　由此可見(jiàn)，低頻噪聲作為一種有效的非損傷實(shí)驗(yàn)手段，越來(lái)越被學(xué)者所認(rèn)可，F(xiàn)S-Pro半導(dǎo)體參數(shù)分析儀作為唯一的集成噪聲測(cè)試功能，在研發(fā)前沿新材料、新器件方面越來(lái)越不可或缺。

　　根據(jù)以上內(nèi)容，依托生產(chǎn)線測(cè)試和科研應(yīng)用的優(yōu)異表現(xiàn)，F(xiàn)S-Pro綜合測(cè)試能力在科學(xué)研究和學(xué)術(shù)界得到了廣泛的關(guān)注和認(rèn)可。由于文章的篇幅有限，本文只選擇了它“論文集”幾篇論文及其對(duì)FS-Pro簡(jiǎn)要描述了使用/反饋。

　　綜上所述，基倫電子半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)FS-Pro集IV，CV與1/f噪聲測(cè)試是一個(gè)集成，靈活滿足學(xué)術(shù)研究用戶的不同測(cè)試需求，具有高精度、低成本、全面、強(qiáng)大的半導(dǎo)體器件表征分析能力，節(jié)省測(cè)試設(shè)備的采購(gòu)費(fèi)用，加快半導(dǎo)體器件和工藝的研發(fā)和評(píng)價(jià)過(guò)程。

　　孫東明教授表示，為了應(yīng)對(duì)不斷變化的市場(chǎng)和技術(shù)趨勢(shì)，以及不斷涌現(xiàn)的新測(cè)試需求：“基礎(chǔ)研究將繼續(xù)突出測(cè)試的新要求。希望國(guó)內(nèi)企業(yè)，包括同倫電子公司，能夠繼續(xù)關(guān)注新的設(shè)備測(cè)試特性，不斷優(yōu)化產(chǎn)品，提高產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力?！?/p>

　　未來(lái)，相信FS-Pro越來(lái)越多的項(xiàng)目將使用商業(yè)應(yīng)用和校企合作，成為半導(dǎo)體器件和先進(jìn)材料研究領(lǐng)域的得力助手。

　　持續(xù)探索“產(chǎn)學(xué)研融合”之路

　　目前，隨著國(guó)家科技創(chuàng)新體制機(jī)制的不斷完善和科技創(chuàng)新平臺(tái)的不斷完善，高?？萍紕?chuàng)新能力不斷增強(qiáng)，越來(lái)越多的科技成果從高校中脫穎而出，逐步轉(zhuǎn)化為實(shí)際生產(chǎn)力。

　　高?？萍汲晒c企業(yè)需求的有效聯(lián)系，不僅可以充分發(fā)揮學(xué)校和企業(yè)各自的優(yōu)勢(shì)，還可以共同培養(yǎng)社會(huì)和市場(chǎng)所需的人才。這是大學(xué)和企業(yè)之間的雙贏模式之一。許多進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)的外國(guó)儀器企業(yè)選擇與高校合作，根據(jù)《時(shí)代》的發(fā)展，共同培養(yǎng)高素質(zhì)的儀器人才。

　　從行業(yè)的角度來(lái)看，半導(dǎo)體測(cè)試儀器屬于高端科研儀器和設(shè)備，需要長(zhǎng)期積累，特別是測(cè)試國(guó)家基礎(chǔ)技術(shù)的厚度。由于國(guó)內(nèi)測(cè)量?jī)x器行業(yè)起步較晚，我國(guó)的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)主要集中在中低端，只有少數(shù)企業(yè)走向應(yīng)用研發(fā)的轉(zhuǎn)型。

　　在這個(gè)行業(yè)的現(xiàn)狀下，國(guó)內(nèi)廠商應(yīng)該更加關(guān)注“產(chǎn)學(xué)結(jié)合”通過(guò)與國(guó)內(nèi)高校和科研機(jī)構(gòu)的合作模式，一方面，在高校創(chuàng)新資源的支持下，可以促進(jìn)企業(yè)自身研發(fā)成果的產(chǎn)業(yè)化；另一方面，也可以進(jìn)行大規(guī)模的培訓(xùn)。