成果名稱(chēng)

低溫掃描探針顯微鏡-分子束外延聯(lián)合系統(tǒng)

單位名稱(chēng)

中科院物理研究所

聯(lián)系人

郇慶

聯(lián)系郵箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

√正在研發(fā) □已有樣機(jī) □通過(guò)小試 □通過(guò)中試 □可以量產(chǎn)

合作方式

√技術(shù)轉(zhuǎn)讓 ??√技術(shù)入股 ? □合作開(kāi)發(fā)? √其他

成果簡(jiǎn)介：
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? ? 該系統(tǒng)是針對(duì)SPM的專(zhuān)業(yè)研究應(yīng)用所研發(fā)的。采用自制杜瓦型低溫恒溫器，可獲得最低5K的低溫，制冷劑利用效率高。特殊設(shè)計(jì)的掃描探頭結(jié)構(gòu)緊湊、體積小巧，具有極好的機(jī)械和溫度穩(wěn)定性。兼容目前主流商業(yè)化樣品架，可原位更換針尖、樣品和沉積分子/原子。集成了基于tuning fork技術(shù)的AFM，可在STM和AFM兩種模式下工作。系統(tǒng)同時(shí)集成了專(zhuān)業(yè)的MBE腔體和獨(dú)立的樣品處理腔，具有液氮的冷屏和多達(dá)7個(gè)蒸發(fā)源安裝位置，可以通過(guò)RHEED和LEED等手段監(jiān)控生長(zhǎng)。尚在研發(fā)中，主要技術(shù)指標(biāo)待測(cè)。

應(yīng)用前景：
? ? ?納米表征和研究的重要工具，國(guó)內(nèi)每年需求量在數(shù)十臺(tái)。

知識(shí)產(chǎn)權(quán)及項(xiàng)目獲獎(jiǎng)情況：
? ? ?發(fā)明專(zhuān)利：201510345910.8