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氣相沉積系統(tǒng)

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-08-31  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):954
核心提示:氣相沉積技術(shù)是利用氣相中發(fā)生的物理、化學(xué)過程,在工件表面形成功能性或裝飾性的金屬、非金屬或化合物涂層。化學(xué)氣相沉積是通過化學(xué)反應(yīng)的方式,利用加熱、等離子激勵(lì)或光輻射等各種能源,在反應(yīng)器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)?;瘜W(xué)氣相沉積(CVD)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。 [氣相沉積系統(tǒng)公開招標(biāo)]中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所等離子體化學(xué)氣相沉積臺(tái)等采購(gòu)招標(biāo) 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所公開招標(biāo)厚氮化硅
氣相沉積技術(shù)是利用氣相中發(fā)生的物理、化學(xué)過程,在工件表面形成功能性或裝飾性的金屬、非金屬或化合物涂層?;瘜W(xué)氣相沉積是通過化學(xué)反應(yīng)的方式,利用加熱、等離子激勵(lì)或光輻射等各種能源,在反應(yīng)器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)?;瘜W(xué)氣相沉積(CVD)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
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