多功能大型測(cè)量顯微鏡的測(cè)量精度的誤差常識(shí)

  蠕動(dòng)誤差主要反映在橋式結(jié)構(gòu)，產(chǎn)生誤差的原因是：縱梁
方向和導(dǎo)軌移動(dòng)時(shí)，左右測(cè)量架不能同步移動(dòng)，使往返行程的
軌跡不重合，產(chǎn)生回程差。

  該誤差對(duì)于測(cè)量精度的影響甚大，誤差值的大小與座標(biāo)測(cè)
量機(jī)的結(jié)構(gòu)形式，制造和裝配的精度等因素有關(guān)，如有個(gè)單位
地試制座標(biāo)測(cè)量機(jī)時(shí)，原設(shè)計(jì)采用一般鋼導(dǎo)軌和精密軸承結(jié)構(gòu)
作為X 、Y 、Z 座標(biāo)的導(dǎo)軌副，由于各軸承軸線不能嚴(yán)格平行，
引起往返移動(dòng)時(shí)軌跡不一致，產(chǎn)生相互干擾，回程誤差較大，
后經(jīng)改進(jìn)，要縱梁移動(dòng)導(dǎo)軌的垂直方向軸承上增加了可相對(duì)浮
動(dòng)裝置，使蠕動(dòng)誤差得以減小，設(shè)由于蠕動(dòng)而產(chǎn)生的誤差為：
X 、Y 、Z ，它們一般應(yīng)控制在2-4 微米以下，在懸臂式結(jié)構(gòu)
中，蠕動(dòng)誤差通常可忽略。

  測(cè)頭誤差測(cè)頭系統(tǒng)是座標(biāo)測(cè)量機(jī)的重要部件，它便于進(jìn)行
空間位置的測(cè)量，其精度直接影響著測(cè)量總精度及其可靠性，
測(cè)頭誤差一般由四項(xiàng)內(nèi)容組成。

  測(cè)頭結(jié)構(gòu)引起的誤差測(cè)頭結(jié)構(gòu)引起的系統(tǒng)誤差，主要是由
于導(dǎo)軌的幾何誤差在測(cè)頭上的反映，即測(cè)頭的位移誤差。

  測(cè)頭結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的重復(fù)性誤差，主要是軸承的偏心誤差引起
的離散，對(duì)于過(guò)零發(fā)訊的測(cè)頭還須考慮測(cè)頭停止產(chǎn)生的附加加
速度，它會(huì)使各滑架、導(dǎo)向面和軸所具有的慣性力、摩擦力等
的平衡發(fā)生變化，造成機(jī)械各部分的變形，使測(cè)量值離散，這
種誤差屬于隨機(jī)誤差。

  溫度的影響濕度對(duì)測(cè)量雖無(wú)直接影響，但當(dāng)濕度超過(guò)60%
時(shí)，座標(biāo)測(cè)量機(jī)的工作部分易產(chǎn)生銹，光學(xué)鏡頭易發(fā)霉，因此
濕度間接地影響著測(cè)量，若濕度過(guò)低，會(huì)使測(cè)量者有不適之感，
此外，濕度和溫度的控制有著密切的關(guān)系。

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