成果名稱

Mini ? ?掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)研制

單位名稱

中科院物理研究所

聯(lián)系人

郇慶

聯(lián)系郵箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

□正在研發(fā) √已有樣機 □通過小試 □通過中試 □可以量產(chǎn)

合作方式

√技術(shù)轉(zhuǎn)讓 ??√技術(shù)入股 ? □合作開發(fā)? √其他

成果簡介：
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? ? 這是一款工作在超高真空環(huán)境下的掃描隧道顯微鏡（STM）系統(tǒng)，具備樣品的退火和濺射清理功能，并可以在原位情況下沉積各種有機/無機材料?？稍趶囊汉貐^(qū)（<10K）到室溫范圍內(nèi)工作，降溫/升溫速度快,特別適合材料及相關(guān)研究人員快速表征樣品。同時，該系統(tǒng)具有很好的穩(wěn)定性，具備穩(wěn)定的原子分辨能力并可獲得一階和二階電流微分譜，經(jīng)擴展后可具備與光路連結(jié)的可能和AFM功能。其主要技術(shù)指標為：
? ? ?背景氣壓：≤ 1x10-10Torr
? ? ?工作溫度范圍：8K~350K
? ? ?原位沉積:? 是
? ? ?掃描范圍：
? ? ?4.0μmx4.0μmx0.6μm @ RT
? ? ?1.0μmx1.0μmx0.15μm @ 8K
? ? ?分辨率：原子分辨?
? ? ?靈敏度：
? ? ?XY: ≤200?/V?? Z:≤30?/V @ RT
? ? ?XY: ≤ 50?/V?? Z:≤ 7.5?/V @ 8K
? ? ?恒溫器類型：連續(xù)流
? ? ?降溫時間（室溫至≤10K）： ~2小時

應(yīng)用前景：
? ? ?納米表征和研究的重要工具，國內(nèi)每年需求量在數(shù)十臺。

知識產(chǎn)權(quán)及項目獲獎情況：
? ? ?201510468456.5
? ? ?發(fā)明專利：200810114537.5和201410165949.7