金屬加工技術,集成電路工業(yè)檢測用工業(yè)顯微鏡制造廠
硅加工技術的日新月異是使老產(chǎn)品淘汰的一個重要因素。
在一種硅加工設備生存期間,必須預見并迎接技術上的新的改
進。
為了適當?shù)亟鉀Q這一問題,必須將硅技術分解成不同的部
分,然后再匯總起來作為一個整體來考慮,看看技術的哪些方面
對某一應用場合有不足之處。
巨額的硅生意連同業(yè)已獲得的先進工藝和設備表明,硅將
繼續(xù)成為大部分集成電路器件的“頂梁柱”。
生產(chǎn)復雜器件的亞微米技術的進展是令人注目的一個領
域,用可見光或接近于可見光的曝光設備是無法制造出這類器
件的圖形尺寸的。亞微米技術是以使用電子束和X射線為基
礎的。
亞微米技術對集成電路工業(yè)的影響比MOS對半導體工業(yè)
的影響更大。正如MOS使幾家新公司進入市場一樣,亞微米
技術將使半導體工業(yè)界內(nèi)各供應廠家的地位重新作重大的調(diào)
整。對新穎半導體生產(chǎn)設備的需求也將驅(qū)使新的或現(xiàn)有的生產(chǎn)
設備供應廠家大大改進它們的生產(chǎn)線。
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