第二屆電鏡網絡會議(iCEM 2016)特邀報告

低電壓掃描電鏡技術在材料研究中的應用

曾 毅 研究員

中國科學院上海硅酸鹽研究所

報告摘要：

　　基于曾毅老師長期的掃描電鏡工作經驗，本次報告將從理論和實際操作兩方面探討低電壓掃描電鏡在材料領域的應用，主要涉及以下幾個方面的內容：

　　1、 低電壓掃描電鏡的特點是什么?為什么要采用低電壓進行掃描電鏡觀察?

　　2、 為什么現(xiàn)有場發(fā)射掃描電鏡都具有較好的低電壓分辨率(通常優(yōu)于1.5nm)，但是很多掃描電鏡工作者卻不愿意或者不敢使用低電壓進行觀察?

　　3、 如何在低電壓下獲得高清晰度圖像?采用低加速電壓進行掃描電鏡觀察時需要注意什么?影響低電壓掃描電鏡圖像質量的主要因素有哪些?

　　4、 如何利用低加速電壓進行介孔材料觀察和分析?

　　5、 如何利用低加速電壓獲得材料真實的顯微結構信息?

　　6、 低電壓STEM在材料分析中的應用

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報告人簡介：

　　曾毅，中國科學院上海硅酸鹽所分析測試中心副主任，研究員，博士生導師。主要從事材料顯微結構-性能-工藝關系研究，實驗室擁有FEI Magellan400, Hitachi SU8220, Hitachi SU4800, JEOL 8100以及JEOL 6700等多臺掃描電鏡。

　　近年來作為項目負責人承擔了863、科技部國際合作專項、中科院重點部署項目、上海市民口科技支撐項目等多項材料表征技術相關研究項目，在國內外學術刊物發(fā)表顯微結構表征技術論文近90篇。出版《低電壓掃描電鏡應用技術研究》和《掃描電鏡和電子探針的基礎及應用》學術專著兩部，起草掃描電鏡相關國家標準5個。

報告時間：2016年10月25日上午