2016 年 3 月 1 日，飛納臺式掃描電鏡高分辨率專業(yè)版 Phenom Pro 在清華大學(xué)通過驗(yàn)收。清華大學(xué)用戶主要研究信息光電子技術(shù)發(fā)展領(lǐng)域，包括光電子器件、集成光子器件、光纖通信與光網(wǎng)絡(luò)、光顯示、光纖傳感等。飛納臺式掃描電鏡高分辨率專業(yè)版 Phenom Pro 可以滿足該用戶課題組所有待觀測樣品的測試需求。高單色性的 CeB6 燈絲為飛納臺式掃描電鏡帶來高分辨率的同時(shí)，也減少了用戶頻繁更換燈絲的煩惱，單根CeB6 燈絲的壽命可達(dá) 1500 小時(shí)，平均 2-3 年更換一次，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過鎢燈絲平均 100 小時(shí)的壽命。以下是用戶課題組樣品的采用飛納臺式掃描電鏡拍攝的 SEM 圖片以及用戶學(xué)習(xí)電鏡操作和通過培訓(xùn)的照片：

硅片上刻蝕光器件

光刻光柵陣列

用戶認(rèn)真學(xué)習(xí)飛納電鏡的照片

順利拿到培訓(xùn)合格證書

在用戶認(rèn)真學(xué)習(xí)飛納臺式掃描電鏡后，順利地拿到了培訓(xùn)合格證書。飛納臺式掃描電鏡體積小巧，完全防震，對放置環(huán)境沒有特殊要求，放在普通實(shí)驗(yàn)室即可。對用戶來說，很有價(jià)值的一點(diǎn)是飛納臺式掃描電鏡操作簡單，15 秒抽真空，結(jié)合光學(xué)導(dǎo)航和全自動馬達(dá)樣品臺，可以快速檢測樣品，提高課題組的科研效率。

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