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???? 近日，日立發(fā)布新型場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）全新品牌 "Regulus?系列"。

?????????? 此次發(fā)布的機型包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個機型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。

??? 本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了最優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
??????? 除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護輔助功能等。

?????? 那讓我們來看看新產品的效果吧。

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?主要特點：

搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1

用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來

主要參數(shù)：

名稱

Regulus8100

Regulus8240/8230/8220

二次電子分辨率

0.8 nm（加速電壓 15 kV）
? ? 1.1 ? nm（著陸電壓 1 kV）*2

0.7 nm（加速電壓 15 kV）
? ? 0.9 ? nm（著陸電壓 1 kV）*2

加速電壓

0.5~30 kV

0.5~30 kV

著陸電壓*2

0.1~2 kV

0.01~20 kV

倍率

20~1,000,000倍*3

20~2,000,000倍*3

馬達臺控制

3軸自動*4

5軸自動

*1? 僅限 Regulus8240/8230/8220

*2? 減速模式觀察

*3? 127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率

*4? 5軸馬達臺為選配項

更多儀器信息請見：

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100

?????????? 場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8200

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