儀器信息網(wǎng)訊 2018 年7月24日，荷蘭飛納Phenom 在儀器信息網(wǎng)第四屆電鏡網(wǎng)絡(luò)會(huì)議(iCEM 2018)首日重磅推出其顛覆性創(chuàng)新產(chǎn)品——全球首創(chuàng)臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)掃描電鏡能譜一體機(jī)Phenom LE：采用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，集背散射電子成像，二次電子成像和能譜分析于一體，分辨率優(yōu)于 2.5nm@15kV，放大倍數(shù) 500,000x。只需一張承重200kg以上的桌子就可以安裝飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)電鏡，無(wú)需裝修改造實(shí)驗(yàn)室，無(wú)需安裝防震臺(tái)、磁屏蔽?？芍^是掃描電鏡行業(yè)的一個(gè)里程碑式創(chuàng)新產(chǎn)品，從參會(huì)千名電子顯微學(xué)工作者的現(xiàn)場(chǎng)反應(yīng)以及100多個(gè)產(chǎn)品咨詢問(wèn)題，側(cè)面看到了廣大電鏡用戶對(duì)該產(chǎn)品的極大興趣。

飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)掃描電鏡 Phenom LE

　　“飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射——復(fù)雜設(shè)計(jì)給飛納，極致體驗(yàn)給用戶”，有著十多年電鏡工作經(jīng)驗(yàn)的飛納應(yīng)用顧問(wèn)李淑波這樣描述新產(chǎn)品，“該產(chǎn)品從立項(xiàng)到最后上市，耗時(shí) 6 年時(shí)間，發(fā)布多項(xiàng)專利，凝聚著上百名(直接、間接)研發(fā)人員的心血：為了早日讓用戶體驗(yàn)產(chǎn)品，研發(fā)人員 24 小時(shí)不停歇，晚上下班后將監(jiān)測(cè)設(shè)備搬回自家調(diào)試，如今，這款設(shè)備終于通過(guò)了荷蘭飛納苛刻的質(zhì)量保證體系，遠(yuǎn)渡重洋為忠實(shí)，勤勞，高品質(zhì)要求的中國(guó)用戶服務(wù)”。

　　據(jù)介紹，飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)電鏡能譜一體機(jī)Phenom LE 將為用戶節(jié)省 40% 左右的購(gòu)買成本(相較于購(gòu)買傳統(tǒng)落地式場(chǎng)發(fā)射電鏡和能譜)，同時(shí)可為用戶節(jié)省 20-60 萬(wàn)的實(shí)驗(yàn)室改造費(fèi)用(安裝防震臺(tái)，磁屏蔽，裝修實(shí)驗(yàn)室等)，飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射只需要一張桌子(千元左右)，維護(hù)也相對(duì)簡(jiǎn)單，省錢更省心。

　　從臺(tái)式電鏡到場(chǎng)發(fā)射(FEG)電鏡能譜一體機(jī)，從 CeB6 燈絲到場(chǎng)發(fā)射燈絲——2006 年，飛納發(fā)布全球首臺(tái)使用高亮度 CeB6 燈絲的臺(tái)式掃描電鏡(Phenom Desktop SEM)，放大倍數(shù)為 10000 倍。2012 年 3 月，飛納研發(fā)出首臺(tái)電鏡能譜一體機(jī)，開(kāi)創(chuàng)電鏡能譜設(shè)計(jì)新理念，兩年銷量達(dá)到 790 臺(tái)。

　　臺(tái)式電鏡分辨率從 30nm 提升至 2.5nm——飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)電鏡Phenom LE 在 15kV 條件下，分辨率已提升至優(yōu)于2.5nm，放大倍數(shù)為500000x。且低電壓成像優(yōu)異，可以獲得更豐富表面細(xì)節(jié)。

分辨率提升對(duì)比圖

（左，飛納臺(tái)式電鏡(CeB6 燈絲)；右，飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)電鏡）

飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)電鏡高分辨性能

（左，鋰電池隔膜；右，納米氧化鐵顆粒）

飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)電鏡低電壓成像

（左，太陽(yáng)能電池板 2kV；中，藥物微球 3kV；右，靜電紡絲納米蛛網(wǎng) 5kV）

　　場(chǎng)發(fā)射電鏡能譜一體機(jī)之能譜——能譜探頭由原廠集成，延續(xù)飛納電鏡能譜一體機(jī)的設(shè)計(jì)理念，腔室內(nèi)部采用特殊設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，以保證能譜探頭最佳探測(cè)角度和探測(cè)距離，提高 X 射線收集效率。同時(shí)，此次升級(jí)的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源束流大，進(jìn)一步激發(fā)樣品產(chǎn)生充足的 X 射線。配置超薄“窗口”(Si3N4)，元素探測(cè)范圍：Boron(5)-Americium(95)。

　　高效，簡(jiǎn)易操作、安裝——高效率體現(xiàn)在15秒抽真空、全程樣品導(dǎo)航、全自動(dòng)馬達(dá)樣

　　品臺(tái)等功能。整體操作簡(jiǎn)化為三步：裝樣品，自動(dòng)聚焦和對(duì)比度亮度調(diào)節(jié)，一鍵取圖成像。人性化的簡(jiǎn)約操作界面幫助操作者快速學(xué)會(huì)所有操作。飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射(FEG)電鏡不僅具有操作便捷的優(yōu)勢(shì)，還可以適應(yīng)高樓層等大多數(shù)環(huán)境的安裝，且可免去磁屏蔽系統(tǒng)及防震臺(tái)。

　　關(guān)于選配軟件——Phenom LE 配置了多功能選配應(yīng)用軟件，如顆粒系統(tǒng)、孔徑系統(tǒng)、纖維系統(tǒng)等，使得一些統(tǒng)計(jì)分析的應(yīng)用可以一鍵完成。也可以根據(jù)客戶的需求定制個(gè)性化軟件，幫助客戶自動(dòng)完成樣品圖像的拍攝，分析。