光學(xué)儀器加工技術(shù)-幾何形狀計(jì)量工具顯微鏡

  應(yīng)力拋光技術(shù)
  應(yīng)力拋光技術(shù)是加工復(fù)雜非球面形狀的一種高效技術(shù)。和大部
分表面加工技術(shù)一樣．這個(gè)技術(shù)也是一個(gè)迭代過程，需要經(jīng)過多次
修磨和測量的循環(huán)。不過，為了使得收斂速率最大化，在應(yīng)力拋光
技術(shù)中還需要執(zhí)行自適應(yīng)控制模擬。

  應(yīng)力拋光中的自適應(yīng)控制模擬
  為了說明自適應(yīng)控制模擬在應(yīng)力拋光中的作用，有必要首先闡
明這個(gè)技術(shù)的完整過程。眾所周知，把一個(gè)初始彎曲的表面加工到
一個(gè)平面，相比把一個(gè)平面或者球面拋光到非球面，所需成本會更
小，花費(fèi)時(shí)間也更少。應(yīng)力拋光技術(shù)就是利用了這個(gè)特點(diǎn)。這個(gè)過
程首先從鏡坯開始，把鏡坯加工成平板或者是最終理想幾何表面的
最佳球面形狀。接著對要加工鏡坯施加初始作動(dòng)力，使它產(chǎn)生一個(gè)
和實(shí)現(xiàn)理想面形所需的反向的變化量。然后執(zhí)行拋光操作，把光學(xué)
表面恢復(fù)到初始鏡坯的幾何形狀。在拋光過程中，要進(jìn)行間諧性的
測量，并結(jié)合作動(dòng)器載荷、作動(dòng)器影響函數(shù)以及解析的反饋量，預(yù)
測工作狀態(tài)下的無應(yīng)力鏡坯的理想面形。其中，預(yù)測解析的反饋量
是為了去除測試誤差的影響。根據(jù)這個(gè)信息，在下一輪拋光之前調(diào)
整鏡坯的作動(dòng)力。持續(xù)上述過程直到面形指標(biāo)滿足要求。最終，在
去除作動(dòng)載荷后，就可以結(jié)合解析的反饋量，直接得到無應(yīng)力鏡坯
的測量結(jié)果。如果需要，可以重新施加新的作動(dòng)載荷繼續(xù)進(jìn)行拋光
加工。
  每次調(diào)整作動(dòng)器載荷都需要進(jìn)行一次自適應(yīng)控制模擬。通過模
擬可以得到作動(dòng)載荷，使它可以最佳修正施加了理想反饋后的面形
測量結(jié)果。作動(dòng)器調(diào)整所需的面形測量頻率取決于和表面加工細(xì)節(jié)
相關(guān)的許多因素，這些不在本書討淪范圍。

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