微打印技術(shù)陶瓷材料組裝微型設(shè)備制造樣品檢測顯微鏡

  在包含傳感器的化學(xué)微系統(tǒng)中，需要將氧化物等功能材料集成到硅系
統(tǒng)中。然而，不能一直通過標(biāo)準(zhǔn)的CMOS技術(shù)來獲得功能材料。對此類情況
，可以分別制備傳感器材料并將它們植入微系統(tǒng)中。與需要采用真空系統(tǒng)
的薄膜不同，近期研究主要聚焦于析出法等化學(xué)方法來制備高質(zhì)量粉末。

  氧化鋁催化劑漿料以及這些漿料如何用于微傳感器和其他設(shè)備的研究
結(jié)果。也可以利用微打印技術(shù)將預(yù)處理陶瓷材料組裝在微型設(shè)備上以制造
傳感器。通過絲網(wǎng)印刷或更復(fù)雜的滴定．沉積技術(shù)(如噴墨系統(tǒng))可以制備
功能薄膜，這樣就能夠?qū)⒐δ懿牧吓c有機(jī)載體組合起來。作者證明利用類
似的組裝技術(shù)，可以成功制備具有納米顆粒的陶瓷催化燃燒室，以用于氣
體傳感器。

  光電二極管、太陽電池、發(fā)光二極管(LED)和激光二極管等光電器件是
多種高科技系統(tǒng)的基礎(chǔ)。光電設(shè)備由具有不同功能的分立元件組成，這些
元件之間的界面通過光纖連接。然而，缺乏高效耦合通常導(dǎo)致光學(xué)損失或
增加成本。

  整體元件集成可以解決設(shè)備耦合帶來的機(jī)械運(yùn)動(dòng)等問題，從而減少封裝
成本與尺寸。高效集成要求每個(gè)組件都能像分立時(shí)一樣發(fā)揮功效。將納米
材料引入納米光子與光電子器件使之變得可行，這將增加器件的功能性，
如發(fā)光、顯示、調(diào)制、監(jiān)測、成像和通信。利用納米結(jié)構(gòu)組合開發(fā)的新型
納米器件可以嵌入“芯片級”組件集成的混合架構(gòu)。此類設(shè)備需要利用微
米和納米尺度的芯片級組裝，以實(shí)現(xiàn)功能材料和組件的集成，包括單片集
成、混合集成、層層組裝和直接組裝。

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