大批量材料的彈性模量

  膜厚

  半導(dǎo)體材料的損傷程度

特點(diǎn)：無損傷檢測

  超硬超薄都能檢測

  檢測整個(gè)面，并非某個(gè)點(diǎn)

  可測膜范圍廣：從納米到毫米

  快速可靠

  樣品無需特殊處理

  無需校正 

作用：

  薄膜沉積、涂層噴涂及成品材料表面的過程控制

  薄膜和涂層機(jī)械參數(shù)的精確測量

  膜材料上微結(jié)構(gòu)的無損評估（如鍵合情況、多孔性和組成）

  測探垂直于表面的彈性和密度梯度

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注：對于醫(yī)療器械類產(chǎn)品，請先查證核實(shí)企業(yè)經(jīng)營資質(zhì)和醫(yī)療器械產(chǎn)品注冊證情況