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NIE安3500(L)RIBE質(zhì)子化離子束拋光vs離子銑離子束拋光安西德盧氏石墨烯控制系統(tǒng)(新加坡)控股

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2021-01-26  來源:儀器網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):84
核心提示:聯(lián)系我們時(shí)請說明是91化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝! 產(chǎn)品簡介 NIE-3500(R)RIBE反應(yīng)離子束刻蝕:可以用于光柵刻蝕,SiO2二氧化硅、Si 硅以及金屬等的深槽刻蝕。此外,還可以用于表面清洗、表面處理、離子銑

聯(lián)系我們時(shí)請說明是91化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝! 產(chǎn)品簡介 NIE-3500(R)RIBE反應(yīng)離子束刻蝕:可以用于光柵刻蝕,SiO2二氧化硅、Si 硅以及金屬等的深槽刻蝕。此外,還可以用于表面清洗、表面處理、離子銑。系統(tǒng)可以兼容反應(yīng)氣體以及非反應(yīng)氣體,比如Ar,O2,CF4,Cl2等。

 
關(guān)鍵詞: 反應(yīng) 刻蝕 可以 離子
 
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