MKS傳感器@MKS控制器
MKS成立于 1961 年， 總部位于美國東部波士頓以北的。 近三千名員工工作在全球各地十三個分公司, 七個研究中心, 十個生產(chǎn)基地。
MKS 擁有完整的技術(shù)及產(chǎn)品資源， 無論是產(chǎn)品的研發(fā)設(shè)計, 生產(chǎn)管理還是客戶支持服務(wù)， 都能快速滿足客戶的各種特殊需求。
美國MKS INSTRUMENTS目前產(chǎn)品主要包括：壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數(shù)字壓力控制儀器和閥等提供半導(dǎo)體工藝上、下游壓力控制設(shè)備；質(zhì)量流量控制器測量和控制半導(dǎo)體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導(dǎo)體工業(yè)提供了可靠的固態(tài)電源；STEXI系列產(chǎn)品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發(fā)生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態(tài)和LIQUOZON液態(tài)臭氧發(fā)生器；另外美國萬機儀器MKS NSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產(chǎn)品、氣體分析儀、靜電控制、控制及信息技術(shù)等系列解決方案。
美國MKS真空計 MKS真空壓力計 MKS薄膜真空計 MKS壓力傳感器 MKS壓力開關(guān) MKS流量計 MKS流量控制閥
MKS傳感器部分系列
621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,
148J,154A/B,179A,180A,185A,248A/D,641A/B,649A/B,748A,1150C,1152C,1179A/B,1479A,1480A,
1485A,1559A,1640A,2179A,DPCA,FRCA,GE,GM,M10MB,M100B,M200,M330,M330AH-XXX-CE,MC20,P4B,P5A,P6A,P8A,P9B,PCA,P99A,P250A,VODMC,VPR3A,41/42A/B,51/52A/B,120A,120D,121A,
141A,142A,146C,220D,221B,228A,230E,226A,430E,590A,615A,616A,622A/B,623A/B,624A/B/D,
625A/B/D,626A/B,627A/B/C/D/E,628A/B/C/D/E,629A/B/D,631B/C/D,660B,670B,690A,698A,722A/B,
727A,728A,740B/C,742B/C,750B/C,752B/C,840B,842B,850B,852B,870B,872B,890B,891B,892B,893B,
CV76XX,D24B/D,D25B/D,D27B/D,D28B/D,DMA/B,E27B/C/D/E,E28B/C/D/E,E29B/D,IDA76XX,LDM-A/D,PDR2000,PR4000,R740B/C,R742B/C,R750B/C,R752B/C R840B,R842B,R850B,R852B