MKSinst Instruments-等離子體電源

等離子體電源用于晶圓工藝

ASTeX 等離子體電源 廣泛應(yīng)用于 CVD ， ETCH ，去膠等晶圓工藝。

R*evolution - AX7690 集成遠(yuǎn)程等離子體源用于晶圓工藝 AX2600 集成等離子體系統(tǒng) SmartPower - AX2500 系列微波電源 ASTeX AX7610 下游等離子體源

 

臭氧發(fā)生器

SEMOZON 臭氧發(fā)生器及集成系統(tǒng)， LIQUOZON 臭氧水循環(huán)系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于 CVD ，去膠和濕法清洗等工藝。

O3MEGA AX8561 臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng) SEMOZON AX8500 系列臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng) SEMOZON AX8400 系列臭氧發(fā)生器
LIQUOZON Smart 臭氧水遞送系統(tǒng)。提供高濃度、大流量臭氧水 LIQUOZON Single 臭氧水遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計(jì)，適合于單片硅片清洗系統(tǒng) LIQUOZON LoopO3 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計(jì)，帶循環(huán)水泵，主要用于硅片清洗工藝 LIQUOZON 100 和 XF 臭氧水遞送系統(tǒng)

 

射頻功率電源

ENI 提供高可靠的固態(tài)電源，其頻率從 1MHz 到 60MHz， 功率從 3 百瓦至 13千瓦，還可選自動(dòng)頻率調(diào)諧，廣泛地應(yīng)用于 Etch， CVD 和 PVD等工藝。

中頻射頻功率電源 （1-4MHz） NOVA 系列，功率為 2.5 千瓦和 5千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。 Spectrum 系列，功率從 5千瓦至 11千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。 高頻射頻功率電源 （13.56MHz） GHW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 5 千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。
Spectrum 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 10.5 千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。 SurePower 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 13 千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。 超高頻射頻功率電源 （27.12-60MHz）： GEW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 3千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。

 

直流/脈沖功率電源

ENI 直流/脈沖電源主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，光電器件，磁盤(pán)，平板顯示器等工業(yè)中的鍍膜工藝。