MKS真空閥門153-1025k-24VDC 發(fā)表時間：2019-05-13 10:37 作者：胤旭機電 來源：www.yinxu99.com 瀏覽：
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MKS真空閥門153-1025k-24VDC

由于波紋管是閥門可靠性的關(guān)鍵因素，MKS將成型的波紋管結(jié)合到150/160閥門中。使用成型波紋管的第一個主要優(yōu)點是一致性。由于形成的波紋管沒有焊接連接每個膜，沒有應(yīng)力集中非均勻焊縫導(dǎo)致疲勞失效。第二優(yōu)點是波紋管圈不會碰到完全處于壓縮位置。

很多真空過程，如化學蒸汽或薄膜沉積含有顆粒污染物。如果小顆粒掉落在形成的波紋管之間，它們沒有效果。如果相似顆粒落在焊接的嵌套波紋管之間，它們會變形膜，導(dǎo)致應(yīng)力集中，并導(dǎo)致早期波紋管失效。彈性體閥桿密封隔離氣缸致動來自波紋管內(nèi)區(qū)域的壓力。MKS真空閥門153-1025k-24VDC

該區(qū)域在波紋管內(nèi)部通過凹槽在外部排氣閥蓋法蘭。如果閥桿密封失效，任何空氣都會通過密封件將通過這些凹槽無害地排出。泄漏檢查時，通風口也允許氦氣波紋管。必須牢固地保留鼻梁架O形圈在打開壓差的閥門中。通風口O形環(huán)槽消除了虛泄漏的可能性由陷入溝槽角落的空氣引起??的。

單作用氣缸打開氣動閥通過3英寸的大小。當氣缸排氣時，一個強大的彈簧關(guān)閉閥門。春天里面波紋管直接作用于鼻梁架。失敗后電磁線圈或其上的電控電壓氣動供應(yīng)失敗，閥門關(guān)閉失敗。4英寸尺寸的閥門可隨時提供(V-100系列)或不帶(150系列)閉合彈簧，和6英寸閥門只能在沒有關(guān)閉的情況下使用彈簧。

沒有關(guān)閉彈簧的閥門具有雙作用缸。在所有尺寸中，氣動缸都經(jīng)過潤滑足以延長閥門的使用壽命。V-100是一個4英寸的閥門，兩者都有手動和氣動選項，角度或內(nèi)聯(lián)配置。氣動版本可用一個閉合的春天。訂購代碼不同于150/160系列，具有更多密封選項。MKS真空閥門153-1025k-24VDC

MKS真空閥可以安裝在任何位置波紋管或鼻梁架面向泵。在具有可冷凝材料的系統(tǒng)，有利于將帶有物鏡轉(zhuǎn)換器的閥門朝向腔室安裝。電動氣動閥附有電磁閥帶乳頭的圓筒。帽螺釘固定可以將氣缸移至車身和氣缸對于尺寸為.75 至1.5 的閥門，以90 的增量編號，對于端口尺寸為2英寸到6英寸的閥門，增量為60 。如果必要時，可以拆下和定位電磁閥遠程。