真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來(lái)的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低與真空度高相對(duì)應(yīng)。
真空計(jì)（真空規(guī)）就是依據(jù)各種原理制作成用來(lái)測(cè)量真空狀態(tài)下壓力大小的真空傳感器。根據(jù)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)（GB7665 87），傳感器（Transducer/Sensor) 的定義是：能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。傳感器是一種以一定的精確度把被測(cè)量對(duì)象轉(zhuǎn)換為與之有確定對(duì)應(yīng)關(guān)系的、便于應(yīng)用的某種物理量的測(cè)量裝置。真空計(jì)（真空規(guī)）就是以一定的精度將真空壓力轉(zhuǎn)化為有確定關(guān)系的電壓電流值的測(cè)量裝置，是傳感器的一種，在一個(gè)系統(tǒng)中的功能和溫度計(jì)，磁力計(jì)，光感計(jì)等等，沒(méi)有什么本質(zhì)的區(qū)別。
上海伯東德國(guó)普發(fā)Pfeiffer提供全套的真空測(cè)量產(chǎn)品，既有單獨(dú)測(cè)量，及時(shí)供有關(guān)人員讀取的，也有可供自動(dòng)化系統(tǒng)采用的；既有測(cè)量低真空的，也有測(cè)量高真空的；既有正常環(huán)境下使用的，也有特殊環(huán)境如高輻射，腐蝕氣體等情況下使用的。
選用真空計(jì)，一般要考慮以下幾個(gè)方面：
1），信號(hào)的接受。真空計(jì)將真空壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)后，可有兩種形式被系統(tǒng)接受，可以是數(shù)字信號(hào)，可以是模擬信號(hào)。根據(jù)系統(tǒng)的需要來(lái)選擇。
2），真空測(cè)量范圍。不同的真空計(jì)，量程是不一樣的，我們需要根據(jù)不同工藝的不同真空要求來(lái)選擇對(duì)應(yīng)的真空計(jì)。真空包裝用的真空計(jì)和半導(dǎo)體鍍膜用的真空計(jì)肯定是不一樣類型的產(chǎn)品。
3），使用的環(huán)境。很重要一點(diǎn)就是有無(wú)輻射，還有就是有無(wú)腐蝕，污染是否嚴(yán)重等等都需要考慮，才能選擇一款適用的真空計(jì)。
4），要求的精度。如果選用的一款真空計(jì)測(cè)出來(lái)的數(shù)據(jù)，根本不能讓你相信，精度達(dá)不到要求，那還不如不測(cè)?；蛘哒`差超出了工藝的要求，就會(huì)給生產(chǎn)過(guò)程帶來(lái)麻煩，產(chǎn)品質(zhì)量受影響，也是得不償失的。
下面詳細(xì)介紹，Pfeiffer 德國(guó)普發(fā)為不同的使用情況提供的可供選擇的產(chǎn)品
一， 根據(jù)系統(tǒng)接口類型
1， 客戶系統(tǒng)選用通用的工業(yè)總線標(biāo)準(zhǔn)，如RS-232，RS-485，Profibus 等等，Pfeiffer 德國(guó)普發(fā)可提供數(shù)字型真空計(jì) DigiLineTM  系列產(chǎn)品供使用。數(shù)字型真空計(jì)采用數(shù)字信號(hào)接口，屬于通用標(biāo)準(zhǔn)接口，可與系統(tǒng)接口直接連接。具有信號(hào)穩(wěn)定，傳輸距離遠(yuǎn)的特點(diǎn)，布線經(jīng)濟(jì)方便，系統(tǒng)組織靈活多變

Pfeiffer 同時(shí)提供通訊協(xié)議，客戶可在PC或PLC上自己編寫(xiě)解碼軟件，進(jìn)行數(shù)據(jù)處理或數(shù)據(jù)顯示。也可使用 Pfeiffer 提供的專用處理軟件DokuStar Plus。
2， 客戶系統(tǒng)沒(méi)有選用任何標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)總線，只是用普通的 I/O 來(lái)獲取數(shù)據(jù)，Pfeiffer可提供皮拉尼真空計(jì) ActiveLine 系列產(chǎn)品供使用。這系列產(chǎn)品只要客戶系統(tǒng)控制部分有模擬信號(hào)通道，客戶就可以讀取到真空壓力數(shù)值的大小。Pfeiffer 提供的 ActiveLine 產(chǎn)品系列輸出的模擬信號(hào)為：0-10V的電壓，客戶系統(tǒng)得到這個(gè)信號(hào)后，根據(jù) Pfeiffer 提供的計(jì)算公式，進(jìn)行信號(hào)計(jì)算轉(zhuǎn)換，可以得到對(duì)應(yīng)的真空度。
ActiveLine 模擬信號(hào)真空計(jì)系列產(chǎn)品如下表：

上述兩種接口形式真空計(jì)的讀數(shù)，除了用對(duì)應(yīng)的接口被系統(tǒng)控制器PC或PLC接收外，還可以用Pfeiffer對(duì)應(yīng)的控制器連接，進(jìn)行離線式的真空數(shù)據(jù)讀取。數(shù)字型真空計(jì)DigiLineTM 系列產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的Pfeiffer控制器為：DPG 101，DPG 109。其中DPG 101可控制1個(gè) DigiLineTM真空計(jì)，顯示1個(gè)真空計(jì)的讀數(shù)，DPG 109控制9個(gè) DigiLineTM真空計(jì)，顯示9個(gè)真空計(jì)的讀數(shù)。ActiveLine 皮拉尼真空計(jì)系列產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的有3種控制器：TPG 261，TPG 262，TPG 256 A，無(wú)論何種皮拉尼真空計(jì)都可以接到這3種控制器上，可自動(dòng)識(shí)別，自動(dòng)轉(zhuǎn)換
二， 根據(jù)測(cè)量范圍
真空壓力大小的劃分：
粗略真空 (Rough vacuum) :1000 ~ 1 (mbar) 
中度真空 (Medium vacuum): 1 ~ E-3 (mbar) 
高真空 (High vacuum): E-3 ~ E-7 (mbar) 
超高真空 (Ultra-high vacuum): E-7 (mbar)
對(duì)高低不同的真空進(jìn)行測(cè)量，所用到的真空計(jì)類型也各不相同。如下表：

應(yīng)力薄膜真空計(jì)（APR 250，APR 260，APR 265，APR 267等等）、

電容薄膜真空計(jì)（CMR 361，CMR 362，CMR 271，CMR 272等等）

電容薄膜真空計(jì)（CMR 363，CMR 364，CMR 273，CMR 274等等）、

皮拉尼（Pirani)真空計(jì)（PPT 100，TPR 280，TPR 281等等）

冷陰極離子真空計(jì)（IKR 251，IKR 261 IKR 270等等）、

熱陰極離子真空計(jì)（IMR 265，PBR 260等等）

 Pfeiffer提供從正常大氣壓1000 mbar到超高真空1E-11mbar全范圍的真空測(cè)量計(jì)，既有分段測(cè)量真空計(jì)，也有全量程真空計(jì)，可根據(jù)需要選用。
三， 根據(jù)使用環(huán)境

1，腐蝕性環(huán)境

如果所測(cè)真空對(duì)象中有酸性，堿性等腐蝕性氣體，如SO2，NH3，CL2等等，選用的真空配件包括真空計(jì)，都必須是抗腐蝕的。不然會(huì)造成測(cè)量不準(zhǔn)，真空計(jì)損壞等等一系列問(wèn)題。

Pfeiffer的數(shù)字型真空計(jì)DigiLineTM系列都不防腐蝕，所以在腐蝕性環(huán)境中無(wú)法使用，只能選用皮拉尼真空計(jì)ActiveLine系列產(chǎn)品。Pfeiffer的皮拉尼真空計(jì)系列包含防腐蝕真空計(jì)，覆蓋全部真空測(cè)量范圍。如應(yīng)力（Piezo)薄膜真空計(jì)全系列，電容薄膜真空計(jì)全系列，皮拉尼（Pirani)真空計(jì)TPR 281，冷陰極離子真空計(jì)全系列，熱陰極離子真空計(jì)等等，都具有防腐蝕功能。

Pfeiffer的防腐蝕真空計(jì)，是通過(guò)使用防腐蝕探測(cè)元件，防腐蝕密封件，接口部分選用不銹鋼，來(lái)實(shí)現(xiàn)整個(gè)真空計(jì)的防腐蝕功能。

2，強(qiáng)輻射環(huán)境

對(duì)于在輻射環(huán)境中使用的真空計(jì)，Pfeiffer還提供了一個(gè)系列產(chǎn)品：模擬型真空計(jì)ModulLine。ModulLine只有探頭部分，沒(méi)有任何電子線路部分，所以適用于高輻射環(huán)境中。這類產(chǎn)品必須要和真空計(jì)控制器TPG 300一起使用，TPG 300內(nèi)的控制板是可以根據(jù)客戶的需要靈活配置的。TPG 300的輸出接口板既有工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)總線接口如RS-232，RS-485等，也有繼電器功能輸出。
3，污染嚴(yán)重的環(huán)境
對(duì)于測(cè)量對(duì)象是有粉塵和污染嚴(yán)重的情況，一個(gè)選用抗污染能力強(qiáng)的真空計(jì)，如應(yīng)力（Piezo)薄膜真空計(jì)全系列，電容薄膜真空計(jì)全系列。另一個(gè)只能在安裝位置和安裝方式上去考慮，盡量減輕污染對(duì)真空計(jì)的影響。使用過(guò)程中也需要加強(qiáng)檢查和保養(yǎng)，才能達(dá)到較好的使用效果。如對(duì)高真空和超高真空的測(cè)量，只能選用離子真空計(jì)，而離子真空計(jì)對(duì)污染和濺鍍性氣體都比較敏感，這種情況下，就只能在安裝和使用上去想辦法了。
四， 要求的精度和精密度

一款傳感器的精度和精密度，受測(cè)量原理及傳感器生產(chǎn)質(zhì)量影響，改良程度是有一定限度的。真空計(jì)的測(cè)量精度主要是受測(cè)量原理的影響，特別是高真空及超高真空的測(cè)量，受空氣成分的影響很大，甚至需要用系數(shù)來(lái)修正。Pfeiffer 系列真空計(jì)的精度如下表：

從上表中可以看出：對(duì)低中真空的測(cè)量精度，要比對(duì)中高真空的測(cè)量精度高，其中電容薄膜真空計(jì)的精度要比壓力（Piezo)薄膜真空計(jì)的精度高一個(gè)數(shù)量級(jí)。對(duì)高真空和超高真空的測(cè)量，熱陰極真空計(jì)的精度和精密度都要比冷陰極真空計(jì)高。
上海伯東德國(guó)普發(fā)Pfeiffer提供了真空測(cè)量的全系列產(chǎn)品包括：通訊接口，測(cè)量范圍，是否防腐蝕，苛刻的使用環(huán)境，精度要求等等。根據(jù)客戶的要求，總能在Pfeiffer的產(chǎn)品中找到合適的。