隔膜真空計(jì)是一種高精度真空測(cè)量?jī)x器，專為惡劣的制造環(huán)境而設(shè)計(jì)。經(jīng)過驗(yàn)證的溫控，耐腐蝕，超純陶瓷傳感器可在多年內(nèi)提供的跨度穩(wěn)定性，并具有蕞先進(jìn)的零穩(wěn)定性。附帶獨(dú)特傳感器屏蔽，可保護(hù)儀表免受不良過程副產(chǎn)品的影響。先進(jìn)的電子元件為所有應(yīng)用和可選的現(xiàn)場(chǎng)總線接口提供廣泛的可配置信號(hào)調(diào)理。創(chuàng)新的加熱概念使觸摸表面更加涼爽，節(jié)省了寶貴的工具空間。是同類產(chǎn)品中小的真空測(cè)量?jī)x器。 隔膜真空計(jì)特點(diǎn)： 緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間 易于集成，各種滿量程和法蘭，標(biāo)準(zhǔn)有兩個(gè)設(shè)定點(diǎn) 輕松一鍵式或遠(yuǎn)程信號(hào)零點(diǎn)命令，零點(diǎn)偏移可調(diào) 診斷端口，用于快速維護(hù)和維護(hù) 兩年保修，更長(zhǎng)的使用壽命，先進(jìn)的加熱概念和儀表保護(hù) 即使在惡劣的等離子應(yīng)用中，由于出色的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，也無(wú)需長(zhǎng)期重新校準(zhǔn) 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE，EN，UL，SEMI，RoHS 典型應(yīng)用 CVD，蝕刻，PVD和其他半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝 隔膜真空計(jì)是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測(cè)量壓強(qiáng)的真空計(jì)，其基本原理所示。電容式隔膜真空計(jì)內(nèi)部有兩個(gè)空間，隔膜右側(cè)連接真空，左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。如果p2 p1，則隔膜就向右側(cè)變形;反之，就向左側(cè)變形。隔膜和電極之間處于絕緣狀態(tài)，兩者之間的距p1 和p2之間的壓強(qiáng)差很小時(shí)，隔膜的變形也很小，要測(cè)量真空度，需要隔膜更薄?？墒?，如果兩側(cè)壓強(qiáng)差很大，則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測(cè)量直流電壓值，即可知壓強(qiáng)，這種真空計(jì)被稱為單電容隔膜真空計(jì)。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實(shí)現(xiàn)的差動(dòng)式雙電容隔膜真空計(jì)，進(jìn)一步提高了測(cè)量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計(jì)測(cè)量的真空度與氣體成分無(wú)關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測(cè)量。離隨p2 的變化而改變，從而引起其間的電容變化。反過來，通過測(cè)量隔膜和電極之間的電容，就可知隔膜的變形量，繼而推算出壓強(qiáng)。