PBS-510xx-C1型薄膜真空計屬于高精度計量器具,應(yīng)定期計量檢定。用于檢定的標(biāo)準(zhǔn)器其精度應(yīng)高于被檢定儀器的一個精度等級以上。使用中若需調(diào)校零點,必須要有較高真空度的真空源。建議平時盡量不要隨便自行調(diào)校,可送(具有該項目CNAS檢定資質(zhì)的)當(dāng)?shù)匦姓嬃考夹g(shù)機構(gòu)檢定調(diào)校和校準(zhǔn)。建議的計量檢定周期為一年。 一般根據(jù)測量電容的不同方法,儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法,具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。 薄膜電容又稱CBB電容,它有聚丙烯膜和聚酯膜兩種介質(zhì)分類,聚丙烯膜的特性是高頻損耗極低、電容量穩(wěn)定性很高、負(fù)溫度系數(shù)較小、絕緣電阻極高、介質(zhì)吸收系數(shù)極低、自愈性好、介電強度等。電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計,原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,即產(chǎn)生了電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號,所以它的測量是直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān),即:薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。