高精度薄膜真空計測量范圍 壓力測量中，除極少數(shù)直接測量外，絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量，進而設(shè)法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。 任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系，都是在某一壓力范圍內(nèi)才好，超出這個范圍，關(guān)系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是高精度薄膜真空計的 量程 。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。近代真空技術(shù)所涉及到的壓力范圍寬達19個數(shù)級(105～10-14pa)，沒有任何一種高精度薄膜真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種高精度薄膜真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種高精度薄膜真空計在原理上的差異．在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。 在被測空間引起一定物理現(xiàn)象，還會出現(xiàn)這樣的問題，即從測量的角度出發(fā)，本需要一種單純的物理現(xiàn)象，但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現(xiàn)象，這些寄生現(xiàn)象不但給測量量帶來誤差，有時還會 喧賓奪主 ，完全把主要現(xiàn)象掩蓋住了。 由上觀之，為改善高精度薄膜真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現(xiàn)象，抑制寄生現(xiàn)象。表1給出一些高精度薄膜真空計的壓力測量范圍。 表1 一些高精度薄膜真空計的壓力測量范圍 名稱 測量范圍(Pa) 真空計名稱 測量范圍(Pa) 水銀U型管 105～10 高真空電離真空計 10-1～10-5 油U型管 104～1 高壓力電離真空計 102～10-4 光干涉油微壓計 1～10-2 B-A計 10-1～10-8 壓縮式真空計(一般型) 10-1～10-3 寬量程電離真空計 10～10-8 壓縮式真空計(特殊型) 10-1～10-5 放射性電離真空計 105～10-1 彈性變形真空計 105～102 冷陰極磁放電真空計 1～10-5 薄膜真空計 105～10-2 磁控管型電離真空計 10-2～10-11 振膜真空計 105～10-2 熱輻射真空計 10-1～10-5 熱傳導(dǎo)真空計(一般型) 102～10-1 分壓力真空計 10-1～10-14 熱傳導(dǎo)真空計(對流型) 105～10-1 真空測量特點 (1)測量壓力范圍寬，105～lO-14Pa。 (2)大部分高精度薄膜真空計是間接測量，只有壓力為105～lOPa時，可直接測單位面積所受的力。但大多數(shù)真空測量的壓力遠比上述為小，不能直接測量，應(yīng)利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導(dǎo)、粘滯性和電離等)進行間接測量。 (3)多采用非電量電測技術(shù)。 (4)大部分高精度薄膜真空計的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分．否則會造成很大誤差。 (5)測量精度不高。 選擇高精度薄膜真空計原則 (1)在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。 (2)被測氣體是否會損傷高精度薄膜真空計；高精度薄膜真空計可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響。 (3)能測全壓力嗎?可校準嗎?靈敏度與氣體種類有關(guān)否。 (4)可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時間長短。 (5)穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。 (6)還要看高精度薄膜真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何。 除上述應(yīng)考慮的問題外，還要查閱參考書、樣本或直接向生產(chǎn)工廠詢問。