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關(guān) 鍵 詞：勻膠機，旋涂儀，甩膠機，烤膠機，熱板

關(guān)于型號：勻膠機根據(jù)功能和配置不同，分為EZ4，EZ6，SC100-SE，SC100-PE，SC200-SE，SC200-PE，IC5000等型號，各型號具體性能參數(shù)，請向安賽斯（Analysis）工作人員索取。

  烤膠機根據(jù)控溫方式和溫度范圍不同，分為HP10，HP100-HT，HP100-HT-CTM，HP6，HP100-SE，HP100-PE等型號。各型號具體性能參數(shù)，請向安賽斯（Analysis）工作人員索取。

名  稱：高精密勻膠機|旋涂儀|甩膠機

EZ4小巧型勻膠機

產(chǎn)品概述：

EZ4勻膠機被設(shè)計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。
EZ4勻膠機被設(shè)計為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。

性能參數(shù)：

l  支持wafer尺寸：碎片（小于1cm）至100mm（4"圓晶）

l  速度可調(diào)范圍：100-10000rpm

l  加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s

l  轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

l  轉(zhuǎn)速精度：＜ 5rpm

l  可編程5組5步程序

l  寬電壓輸入：AC100-230V

產(chǎn)品特點：

l  100W 直流無刷電機，單片機控制

l  高清晰文本顯示器

l  可單步和多步勻膠操作

l  PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換

l  鋁合金陽極氧化外殼，美觀大方

l  耐溶劑PC透明蓋

l  多角度定位鉸鏈設(shè)計

l  HDPE真空吸盤

產(chǎn)品外型尺寸：
  250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)

EZ6靈巧型勻膠機

產(chǎn)品概述：

EasyCoater 6勻膠機被設(shè)計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和PLC控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
EZ6勻膠機設(shè)計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

性能參數(shù)：

l  支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

l  速度可調(diào)范圍：100-12000rpm

l  加速度可調(diào)范圍：100-30000rpm/s

l  轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

l  轉(zhuǎn)速精度：＜ 5rpm

l  可編程10組10步程序

l  寬電壓輸入：AC100-230V

產(chǎn)品特點：

l  100W 直流無刷電機，PLC 控制

l  5 全彩觸摸屏

l  系統(tǒng)中英文可選

l  帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能

l  HDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋

l  真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能

產(chǎn)品外型尺寸：

358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

EZ8智能型勻膠機

產(chǎn)品概述：

  EZ8勻膠機被設(shè)計為涂膠處理小碎片至8寸圓形尺寸底物，使用工業(yè)級馬達和高級PLC控制，7寸全彩觸屏人機界面操作，全耐腐蝕性設(shè)計。

EZ8設(shè)計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用、程控操作、高性能、高精度和寬應用，是一款外觀和性能均突出的智能化勻膠機。

性能參數(shù)：

l  速度可調(diào)范圍：100-12000RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

l  加速度可調(diào)范圍：100-30000RPM/S

l  單步旋涂及多步旋涂可選，可編程100組100步程序

l  250W直流無刷電機，高級PLC控制，圖形化操作界面

l  HDPE內(nèi)腔，PP外殼，耐溶劑復合型蓋，帶透明蓋觀察窗

l  帶四只自動點膠端口，可升級自動點膠裝置

l  真空傳感器和蓋子開關(guān)傳感器互鎖，確保操作安全

l  帶排廢收集口，直接收集到可更換的PP廢膠收集瓶

l  底部抽風設(shè)計，可接抽風裝置，保證廢氣排逸

產(chǎn)品特點：

l  側(cè)面可更換接膠瓶設(shè)計，方便廢液回收

l  電動可升縮觸摸屏設(shè)計，人性化斜面操作

l  不堵膠、不進膠、易清理的耐用性設(shè)計

l  簡單可靠的載物盤更換設(shè)計

l  完美的不濺膠和氣流系統(tǒng)設(shè)計

l  易清潔、耐腐蝕超高分子材料內(nèi)腔

l  耐腐蝕PP聚丙烯外殼，抗污易清潔

l  新穎的圖形化操作界面，可視化窗口

產(chǎn)品附件選擇：

l  標配一只真空載物盤(直徑55mm) 和兩只配合轉(zhuǎn)頭(10mmm，25mm)，適合小至1cm碎片到8寸圓形底物勻膠作業(yè)。

l  根據(jù)基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式定制載物盤轉(zhuǎn)頭設(shè)計加工

l  用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附載物盤轉(zhuǎn)頭

l  無油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發(fā)生器可選

l  蓋子上點膠針筒支架手動點膠可選

l  瓶口分液器手動定量點膠可選

l  蠕動泵/點膠機等自動點膠裝置可選配

EZH-S可控溫型勻膠機

產(chǎn)品概述：

  EZH-S是首款采用轉(zhuǎn)盤本體加熱的控溫型勻膠機，可以進行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作，對提高膠體流動性，加速溶劑揮發(fā)，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。
  EZH-S能夠?qū)D(zhuǎn)盤進行精確控溫，基片吸附接觸式加熱，以實現(xiàn)在不同溫度下的控溫勻膠處理。采用獨特的發(fā)明旋轉(zhuǎn)熱盤控溫結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，控溫精度高、重復性好，技術(shù)先進，性能優(yōu)良。
  EZH-S標配2英寸（直徑50mm)鋁合金真空吸附轉(zhuǎn)盤，加熱速度快，控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉(zhuǎn)盤，可定制設(shè)計更換。

性能參數(shù)

l  加熱轉(zhuǎn)盤     50mm（其它尺寸按要求定制）

l  控溫范圍   室溫~200℃

l  溫度分辨率   0.1℃

l  控溫精度   2℃（旋轉(zhuǎn)前后溫升）
  0.5℃（穩(wěn)定后控溫）

l  轉(zhuǎn)速分辨率  1RPM 

l  轉(zhuǎn)速范圍     100-5000RPM

l  加速度范圍   100-5000RPM/S

l  單步設(shè)置時長     0.1-3000S

l  可編程   100組100步

l  自動點膠口 一路

l  設(shè)備重量   15kg

l  電源輸入   AC220V，5A

l  加熱功率   200W

l  電機功率  200W

SC100-SE高精密勻膠機

性能參數(shù)：

l  主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l  馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 1rpm

l  重復性 1rpm

l  工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step

l  時間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8 圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性： 3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品特點：

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  Telon /polyethylene 密閉碗 設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

l  標準配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

l  采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

l  排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。

l  透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：
  433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) 標準設(shè)備結(jié)構(gòu)
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) 可選分體結(jié)構(gòu)

SC100-PE高端型勻膠機

性能參數(shù)：

l  主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：可擴展編輯和存貯到無限程序步驟

l  轉(zhuǎn)動速度：0-15,000rpm

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l  轉(zhuǎn)速精度達到 0.1rpm，超高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性；

l  工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step

l  時間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8 圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性： 3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品特點：

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  Telon /polyethylene 密閉碗 設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

l  采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

l  透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

l  數(shù)顯真空壓力傳感器，真空值數(shù)字顯示，壓力開關(guān)值可設(shè)置；

l  數(shù)顯水平度傳感器，實時顯示載物盤面的水平度，可通過底腳進行調(diào)節(jié)；

l  自帶四個自動點膠端口，更多端口控制可升級。

產(chǎn)品外型尺寸：
  433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) 標準設(shè)備結(jié)構(gòu)
 

SC200-SE高精密勻膠機

性能參數(shù)：

l  主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：最多存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

l  旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

l  馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 1rpm，重復性 1rpm

l  工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm（12 圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性： 3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品特點：

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  Telon /polyethylene 密閉碗 設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

l  標準配置轉(zhuǎn)速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

l  采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

l  透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

名  稱：高精密勻膠機|旋涂儀|甩膠機

關(guān)于勻膠機的詳細資料，請聯(lián)系安賽斯（Analysis）工作人員索取。