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測量顯微鏡的原理、功能及應用

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-08-31  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):908
核心提示:測量顯微鏡是一種大型的精密測量儀器,具有準確度高、功能全等特點,是生產(chǎn)企業(yè)長度計量工作中最常用的光學儀器之一。測量顯微鏡的光學系統(tǒng)形成物方遠心光路,使被測工件的光學成像落在儀器的分劃板上,然后通過目鏡使分劃板上的標準刻線對工件影像進行瞄準,以達到測量的目的。因此,影像法是測量顯微鏡的最常用、最基本的測量方法。由于測量顯微鏡還配備了許多輔助設備,所以除了最基本的影像法外,它還能實現(xiàn)軸切法、光學接觸法、機械測量法、雙像法等測量手段,以達到不同的測量目的。 測量顯微鏡的功能|使用方法|分類 測量顯微鏡是光
測量顯微鏡是一種大型的精密測量儀器,具有準確度高、功能全等特點,是生產(chǎn)企業(yè)長度計量工作中最常用的光學儀器之一。測量顯微鏡的光學系統(tǒng)形成物方遠心光路,使被測工件的光學成像落在儀器的分劃板上,然后通過目鏡使分劃板上的標準刻線對工件影像進行瞄準,以達到測量的目的。因此,影像法是測量顯微鏡的最常用、最基本的測量方法。由于測量顯微鏡還配備了許多輔助設備,所以除了最基本的影像法外,它還能實現(xiàn)軸切法、光學接觸法、機械測量法、雙像法等測量手段,以達到不同的測量目的。


測量顯微鏡的功能|使用方法|分類

測量顯微鏡是光學計量儀器之一種,是指配有瞄準顯微鏡和坐標工作臺的用于二維坐標尺寸測量的光學計量儀器。測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。...[查看全部]


測量顯微鏡主要使用于電子工業(yè)、五金行業(yè)、以及一些精密工程,在塑膠行業(yè)和醫(yī)療業(yè),生物物醫(yī)學、公安系統(tǒng)等等有廣泛的應用,特別是在電子工業(yè)比如觀察電路板的構(gòu)造,觀察零件直接的精確距離,是不可缺少的精密儀器。

測量顯微鏡的發(fā)展

測量顯微鏡,歷史上是以準確的倍率把工件形狀放大以后,通過與模板進行象面比對,進行測量、檢查的顯微鏡。因此,測量顯微鏡與通常的觀察用顯微鏡不同,它采用與輪廓投影儀相同的遠心光路系統(tǒng),其物鏡倍率也很準確。

近年來,使用CCD并輔以必要的測量軟件,測量顯微鏡不僅可以對所攝取的工件視頻圖象進行窗內(nèi)坐標測量,依靠測量載物臺帶動工件移動,還可以實現(xiàn)超視窗的坐標測量,這已經(jīng)成為它的主流用法。為了適應這種需求,載物臺的行程需要更大,計算機數(shù)據(jù)處理功能也需要更強。

另外,隨著測量顯微鏡光學系統(tǒng)制作倍率的更加準確,也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡易偏光觀察等功能的通用型光學頭。在高倍率觀察時,還可以使用FA(輔助對焦)鏡筒進行高度測量,可以通過縮小視在的景深,提高Z軸方向測量的重復精度。測量顯微鏡配上數(shù)碼相機,還可以拍攝數(shù)碼相片,使得測量顯微鏡的應用越來越廣。

測量顯微鏡的發(fā)展.jpg

測量顯微鏡的原理

測量顯微鏡是應用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。

測量顯微鏡工作臺除作X、Y坐標的移動外,還可以作360°的旋轉(zhuǎn),亦可以進行高度方向做Z坐標的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;測量顯微鏡亦可連接計算機進行數(shù)據(jù)處理等測量與STM類似,在AFM中,使用對微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對樣品表面作光柵式掃描。當針尖和樣品表面的距離非常接近時,針尖尖端的原子與樣品表面的原子之間存在

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測量顯微鏡是光學計量儀器之一種,是指配有瞄準顯微鏡和坐標工作臺的用于二維坐標尺寸測量的光學計量儀器。測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試,是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。

測量顯微鏡的功能

1、直角坐標中測定長度。

2、旋轉(zhuǎn)度盤測定角度。

3、用作觀察顯微鏡。

4、利用測量顯微鏡微動載物臺的移動,配全目鏡的十字座標線,作長度量測。

5、利用旋轉(zhuǎn)載物臺與目鏡下端之游標微分角度盤,配全合目鏡之址字座標線,作角度量測,令待測角一端對準十字線與之重合,然再讓另一端也重合。

6、利用標準檢測螺紋的節(jié)距、節(jié)徑、外徑、牙角及牙形等尺寸或外形。

7、檢驗金相表面的晶粒狀況。

8、檢驗工件加工表面的情況。

9、檢測微小工件的尺寸或輪廓是否與標準片相符。

測量顯微鏡的功能.jpg

測量顯微鏡的使用方法

測量顯微鏡的安裝使用:

1、測量顯微鏡安裝和使用:

應對周圍環(huán)境的安全性進行檢查,電源、電壓、LED光源、接地線等是否正確、牢固,應符和要求。

2、測量顯微鏡主要部件運動性能檢查:

測量顯微鏡工作臺、縱、橫滑板導軌、測微器、顯微鏡臂架導軌升降,測角度盤轉(zhuǎn)動等部件,經(jīng)目力觀察和手動試驗,必須確認結(jié)構(gòu)安裝可靠,位置準確,運轉(zhuǎn)性能應舒適完好,無松動阻滯和急跳現(xiàn)象存在。

3、測角目鏡的檢查:

①測量顯微鏡測角目鏡零位的檢查;

②測量顯微鏡測角目鏡十字線交點與其迥轉(zhuǎn)中心重合性的檢查。

測量顯微鏡的操作方法:

1、將被測試樣放在測量工作臺上,盡量放在玻璃中心位置。?

2、轉(zhuǎn)動測量顯微鏡調(diào)焦手輪,至視線清晰為止,用目視判斷最薄點,旋轉(zhuǎn)測量工作臺并依靠縱橫向的調(diào)節(jié),把最薄點方向原始基準調(diào)至與十字線相重合,記錄測試標志線所對應的刻度值X1。?

3、調(diào)節(jié)橫向手柄,測量工作臺沿X線軸向移動,記錄另一側(cè)的讀數(shù)X2,X1

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