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透射電鏡的原理、分類(lèi)及應(yīng)用

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-08-31  來(lái)源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):715
核心提示:透射電鏡(TEM),全稱透射電子顯微鏡,是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來(lái)。透射電鏡分辨率高、放大倍數(shù)大,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)與生命科學(xué)領(lǐng)域。 透射電鏡基礎(chǔ)知識(shí) 透射電鏡是一種新型高性能的大型檢測(cè)儀器,是現(xiàn)代物理以及先進(jìn)技術(shù)社會(huì)的產(chǎn)物,隨著科技的發(fā)展,透射電鏡的技術(shù)會(huì)更加先進(jìn),使用范圍也更加廣泛。
透射電鏡(TEM),全稱透射電子顯微鏡,是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來(lái)。透射電鏡分辨率高、放大倍數(shù)大,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)與生命科學(xué)領(lǐng)域。


透射電鏡基礎(chǔ)知識(shí)

透射電鏡是一種新型高性能的大型檢測(cè)儀器,是現(xiàn)代物理以及先進(jìn)技術(shù)社會(huì)的產(chǎn)物,隨著科技的發(fā)展,透射電鏡的技術(shù)會(huì)更加先進(jìn),使用范圍也更加廣泛。 1、透射電鏡基本...[查看全部]


透射電鏡全稱透射電子顯微鏡。是利用高能電子束充當(dāng)照明光源而進(jìn)行放大成像的大型顯微分析設(shè)備,透射電鏡是一種具有高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器,被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)等研究領(lǐng)域。

透射電鏡是什么

透射電鏡是以波長(zhǎng)極短的電子束作為照明源,用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。透射電鏡是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上(片狀透射電鏡的工作原理

透射電鏡是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像將在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件)上顯示出來(lái)。

由于電子的德布羅意波長(zhǎng)非常短,透射電鏡的分辨率比光學(xué)顯微鏡高的很多,可以達(dá)到0.1~0.2nm,放大倍數(shù)為幾萬(wàn)~百萬(wàn)倍。因此,使用透射電鏡可以用于觀察樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu),甚至可以用于觀察僅僅一列原子的結(jié)構(gòu),比光學(xué)顯微鏡所能夠觀察到的最小的結(jié)構(gòu)小數(shù)萬(wàn)倍。透射電鏡在中和物理學(xué)和生物學(xué)相關(guān)的許多科學(xué)領(lǐng)域都是重要的分析方法,如癌癥研究、病毒學(xué)、材料科學(xué)、以及納米技術(shù)、半導(dǎo)體研究等等。

在放大倍數(shù)較低的時(shí)候,透射電鏡成像的對(duì)比度主要是由于材料不同的厚度和成分造成對(duì)電子的吸收不同而造成的。而當(dāng)放大率倍數(shù)較高的時(shí)候,復(fù)雜的波動(dòng)作用會(huì)造成成像的亮度的不同,因此需要專業(yè)知識(shí)來(lái)對(duì)所得到的像進(jìn)行分析。通過(guò)使用TEM不同的模式,可以通過(guò)物質(zhì)的化學(xué)特性、晶體方向、電子結(jié)構(gòu)、樣品造成的電子相移以及通常的對(duì)電子吸收對(duì)樣品成像。

透射電鏡的成像原理可分為三種情況:

吸收像:

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1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電鏡,電子束的波長(zhǎng)要比可見(jiàn)光和紫外光短得多,并且電子束的波長(zhǎng)與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比,也就是說(shuō)電壓越高波長(zhǎng)越短。目前透射電鏡的分辨力可達(dá)0.2nm。

透射電鏡的總體結(jié)構(gòu)包括鏡體和輔助系統(tǒng)兩大部分,鏡體部分包含:①照明系統(tǒng)(電子槍G,聚光鏡C1、C2),②成像系統(tǒng)(樣品室,物鏡O,中間鏡I1、I2,投影鏡P1、P2),③觀察記錄系統(tǒng)(觀察室、照相室),④調(diào)校系統(tǒng)(消像散器、束取向調(diào)整器、光闌)。輔助系統(tǒng)包含:①真空系統(tǒng)(機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、真空閥、真空規(guī)),②電路系統(tǒng)(電源變換、調(diào)整控制),③水冷系統(tǒng)。

一、照明系統(tǒng)

透射電鏡照明系統(tǒng)包括電子槍和聚光鏡2個(gè)主要部件,它的功用主要在于向樣品及成像系統(tǒng)提供亮度足夠的光源,對(duì)它的要求是輸出的電子束波長(zhǎng)單一穩(wěn)定,亮度均勻一致,調(diào)整方便,像散小。

透射電鏡基本結(jié)構(gòu).jpg

1、電子槍

由陰極、陽(yáng)極和柵極組成。

①陰極:

陰極是產(chǎn)生自由電子的源頭,一般有直熱式和旁熱式2種,旁熱式陰極是將加熱體和陰極分離,各自保持獨(dú)立。在透射電鏡中通常由加熱燈絲)兼做陰極稱為直熱式陰極,材料多用金屬鎢絲制成,其特點(diǎn)是成本低,但亮度低,壽命也較短。燈絲的直徑約為0.10~0.12mm,當(dāng)幾安培的加熱電流流過(guò)時(shí),即可開(kāi)始發(fā)射出自由電子,不過(guò)燈絲周?chē)仨毐3指叨日婵?,否則就象漏氣燈泡一樣,加熱的燈絲會(huì)在傾刻間被氧化燒毀。燈絲的形狀最常采用的是發(fā)叉式,也有采用箭斧式或點(diǎn)狀式的,后2種燈絲發(fā)光亮度高,光束尖細(xì)集中,適用于高分辨率透射電鏡照片的拍攝,但使用壽命更短。

陰極燈絲被安裝在高絕緣的陶瓷燈座上,既能絕緣、耐受幾千度的高溫,還可以方便更換。燈絲的加熱電流值是連續(xù)可調(diào)的。

在一定的界限內(nèi),燈絲發(fā)射出來(lái)的自由電子量與加熱電流強(qiáng)度成正比,但在超越這個(gè)界限后,電流繼續(xù)加大,只能降低燈絲的使用壽命,卻不能增大自由電子的發(fā)射量,我們把

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透射電鏡,全稱透射電子顯微鏡,是用于觀察組織細(xì)胞超微結(jié)構(gòu)的大型精密電子儀器,已廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、生物學(xué)等各個(gè)研究領(lǐng)域,成為研究細(xì)胞生物學(xué)、組織學(xué)、病理學(xué)、解剖學(xué)以及臨床病理診斷的重要工具之一。

一、開(kāi)機(jī)程序

1、首先打開(kāi)房間空調(diào),冷卻循環(huán)水房溫度21度,操作室25度;

2、開(kāi)啟冷卻水循環(huán)裝置,一個(gè)獨(dú)立的小的控制器,先將開(kāi)關(guān)打至ON,再將按下POWER鍵;

3、啟動(dòng)穩(wěn)壓電源,穩(wěn)定于220V,查看電壓箱供電指示燈亮;

4、用鑰匙啟動(dòng)主機(jī),從OFF檔位旋到START位,松開(kāi)后鑰匙自動(dòng)回到ON位置。透射電鏡自動(dòng)抽真空,等待約40分鐘。

5、直至DP綠燈亮,HIGH綠燈亮,READY綠燈亮(若不亮的話,將LENS LIGHT打至ON檔位)。

透射電鏡操作方法.jpg

二、電子槍合軸

1、確認(rèn)READY綠燈亮;

2、把樣品撥出,物鏡光欄撥出至0檔位;

3、加高壓:按下HT鍵后,依次按下40-60-80-100KV鍵,并注意觀察束流表是否正常,每次都要等電流表顯示穩(wěn)定之后再進(jìn)行下一步,一般調(diào)到80KV就行了。

4、加燈絲:將FILAMENT EMIISSION旋鈕緩慢旋至鎖定位置。

5、一般在SCAN(5300倍)條件下調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)CONDENSER鈕,得到光斑。

6、SPOT SIZE調(diào)到3檔,調(diào)節(jié)CONDENSER鈕聚光,得到最小最亮光斑,然后用左右ALIGNMENT:TRANS(小的)將光斑拉至最中心位置(中心位置有一黑點(diǎn))。

7、SPOT SIZE調(diào)到1檔,調(diào)節(jié)CONDENSER鈕聚光,得到最小最亮光斑,然后用GUN ALIGNMENT:TRANS(X、Y)將光斑拉至中心位置。

8、再重復(fù)6、7步驟,使束流不偏離中心。

三、調(diào)燈絲相

1、透射電鏡在SCAN模式下,SPOT SIZE調(diào)到1檔。

2、將FILAMENT EMIISSION旋鈕稍稍往回調(diào),到看到燈絲欠

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透射電鏡是貴重的精密設(shè)備,正確的使用與維護(hù)才能使其發(fā)揮出應(yīng)有的性能??傊?,要想拍出高質(zhì)量的透射電鏡照片,制樣是基礎(chǔ)。同時(shí),透射電鏡的狀態(tài)也很關(guān)鍵。最后,技術(shù)人員的操作水平也是至關(guān)重要的。

1、環(huán)境要求

電鏡室的濕度要求在40%~50%之間,溫度在20~22℃之間。電鏡需安裝在一樓,沒(méi)有地下室。房間高度要合適,有利于拆裝。房頂不要有中央空調(diào)走風(fēng),會(huì)造成圖像模糊,看不清高分辨像。有較好的遮光條件,可以安裝合適的布簾。注意室內(nèi)環(huán)境衛(wèi)生,定期打掃,而且進(jìn)入室內(nèi)需要穿腳套,減少帶入灰塵。附近沒(méi)有電梯及大型變電設(shè)備,防止電磁干擾。

透射電鏡的維護(hù)保養(yǎng).jpg

2、真空要求

透射電鏡一般可以使真空度達(dá)到小于2×10^-5Pa,而儀器管理員也盡量在每次達(dá)到2×10^-5Pa后,才開(kāi)始實(shí)驗(yàn),以達(dá)到延長(zhǎng)儀器的使用壽命和保持儀器的高分辨能力的目的。如果儀器多天真空度持續(xù)高于4×10^-5Pa后,則需對(duì)儀器進(jìn)行烘烤。一般短時(shí)間的可以考慮ACD烘烤。步驟是:所有光闌退出,關(guān)閉燈絲和高壓,拔出樣品桿。蓋上熒光屏蓋,準(zhǔn)備毛巾,蓋上控制面板,防止滴水。放入加熱棒,點(diǎn)擊桌面控制按鈕,自動(dòng)烘烤2h。

如果真空度仍然不能滿足要求,則需要進(jìn)行鏡筒烘烤。步驟是:關(guān)閉燈絲和高壓,退出所有光闌,拔出樣品桿,蓋上熒光屏蓋,打開(kāi)透鏡開(kāi)關(guān)。點(diǎn)擊桌面控制按鈕,設(shè)定冷卻4h,總時(shí)間48h~52h左右。同時(shí)注意,點(diǎn)擊烘烤后,過(guò)2h左右,手摸柱體,看是否變熱,變熱說(shuō)明烘烤正常進(jìn)行。

為了拍攝清晰的高分辨照片,必要時(shí)可以加液氮,但是要保持在有液氮的條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn),可以實(shí)驗(yàn)中間過(guò)程加液氮。使用完畢后,要對(duì)ACD進(jìn)行烘烤,步驟如上述ACD烘烤。

3、日常工作

為保證真空度,注意檢查樣品桿的O型圈,定期清潔和涂抹真空脂。暫時(shí)不用的樣品桿,放在樣品室中預(yù)抽,這樣可以有效縮短樣品臺(tái)在電鏡中的預(yù)抽時(shí)間,還可以延長(zhǎng)樣品臺(tái)的使用壽命。注意檢查SF6絕緣氣體的

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透射電鏡即透射電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱TEM),通常稱作電子顯微鏡或電鏡(EM),是使用最為廣泛的一類(lèi)電鏡。已廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、生物學(xué)等各個(gè)研究領(lǐng)域,成為組織學(xué)、病理學(xué)、解剖學(xué)以及臨床病理診斷的重要工具之一。

透射電鏡簡(jiǎn)介

透射電鏡是一種把經(jīng)加速和聚集的電子束透射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度等相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像,影像在放大、聚焦后在成像器件(如熒光屏,膠片以及感光耦合組件)上顯示出來(lái)的顯微鏡。

透射電鏡.jpg

在光學(xué)顯微鏡下無(wú)法看清小于0.2微米的細(xì)微結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超細(xì)結(jié)構(gòu)。要想看清這些結(jié)構(gòu),就必須選擇波長(zhǎng)更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,電子束的波長(zhǎng)比可見(jiàn)光和紫外光短得多,并且電子束的波長(zhǎng)與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比,也就是說(shuō)電壓越高波長(zhǎng)越短。目前透射電鏡分辨力可達(dá)0.2納米。

透射電鏡的分類(lèi)

按照加速電壓分類(lèi):

透射電鏡按照加速電壓可分為低壓透射電鏡、高壓透射電鏡和超高壓透射電鏡。加速電壓在200KV以下的是低壓透射電鏡,在200KV-400KV(包含)之間的是高壓透射電鏡;加速電壓在400KV以上的是超高壓透射電鏡。

1、低壓透射電鏡。最常用的是100KV電鏡。這種電鏡分辨率高(點(diǎn)0.3nm,晶格0.14nm),但穿透本領(lǐng)小,觀察樣品必須很薄,約為30~100nm,如細(xì)胞和組織的超薄切片、復(fù)型膜和負(fù)染樣品等。相當(dāng)普及。我校有這樣的設(shè)備。

2、高壓透射電鏡。目前常用的是200KV電鏡。這種電鏡對(duì)樣品的穿透本領(lǐng)約為100KV電鏡的1.6倍,可以在觀察較厚樣品時(shí)獲得很好的分辨本領(lǐng),從而可以對(duì)細(xì)胞結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維觀察。

3、超高壓透射電鏡。目前已有500KV、1000KV和3000KV的超高壓透射電鏡。這類(lèi)電鏡具有穿透本領(lǐng)強(qiáng)、輻射

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透射電鏡全稱透射電子顯微鏡,是用于觀察組織細(xì)胞超微結(jié)構(gòu)的大型精密電子儀器。透射電鏡廣泛應(yīng)用于工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、材料學(xué)、考古學(xué)、生物學(xué)、組織學(xué)、病毒學(xué)、病理學(xué)和分子生物學(xué)等研究領(lǐng)域中。

透射電鏡在生物學(xué)的應(yīng)用

1、細(xì)胞學(xué)

由于超薄切片技術(shù)的出現(xiàn)和發(fā)展,人類(lèi)利用透射電鏡對(duì)細(xì)胞進(jìn)行了更深入的研究,觀察到了過(guò)去無(wú)法看清楚的細(xì)胞超微結(jié)構(gòu)。例如,用透射電鏡觀察到了生物膜的三層結(jié)構(gòu)以及細(xì)胞內(nèi)的各種細(xì)胞器的形態(tài)學(xué)結(jié)構(gòu)等。

2、發(fā)現(xiàn)和識(shí)別病毒

許多病毒,尤其是腫瘤病毒就是用透射電鏡發(fā)現(xiàn)的。透射電鏡也為病毒的分類(lèi)提供了最直觀的依據(jù),例如SARS病毒就是首先在透射電鏡下觀察到并確認(rèn)是病毒而不是支原體的。

透射電鏡的用途.jpg

3、臨床病理診斷

生物體發(fā)生疾病都會(huì)導(dǎo)致細(xì)胞發(fā)生形態(tài)和功能上的改變,通過(guò)對(duì)病變區(qū)細(xì)胞的透射電鏡觀察就可以為疾病診斷提供有力依據(jù)。例如目前透射電鏡在腎活檢、腫瘤診治中發(fā)揮了重要作用。

4、免疫學(xué)

電鏡技術(shù)與生命科學(xué)中新興起的技術(shù)相結(jié)合,促進(jìn)了新技術(shù)的應(yīng)用。例如電鏡技術(shù)與免疫學(xué)技術(shù)相結(jié)合產(chǎn)生了免疫電鏡技術(shù),它可以對(duì)細(xì)胞表面及細(xì)胞內(nèi)部的抗原進(jìn)行定位,可以了解抗體合成過(guò)程中免疫球蛋白的分布情況等。

5、細(xì)胞化學(xué)

研究細(xì)胞內(nèi)各種成分在超微結(jié)構(gòu)水平上的分布情況以及這些成分在細(xì)胞活動(dòng)過(guò)程中的動(dòng)態(tài)變化,以闡明細(xì)胞的化學(xué)和生化功能。其中最主要的是蛋白質(zhì)(尤其是酶的細(xì)胞內(nèi)定位),其次是核酸、脂肪、碳水化合物及無(wú)機(jī)離子的定位。該技術(shù)促進(jìn)了形態(tài)學(xué)和生物化學(xué)的結(jié)合,使生命科學(xué)的研究進(jìn)入了新的水平。

透射電鏡在材料科學(xué)中的應(yīng)用

材料科學(xué)研究的對(duì)象是制造設(shè)備和產(chǎn)品的金屬、半導(dǎo)體、塑料等,以及工藝技術(shù),例如研究如何制造出更小、品質(zhì)更好的晶體管,以使計(jì)算機(jī)的功能更為強(qiáng)大;研究聚合物的電子特性以生產(chǎn)更便宜的手機(jī)顯示屏;或者分析如何使肌體組織與醫(yī)用植入物更好地結(jié)合。

1、表面形貌觀察

由于電子束穿透樣品的能力低,

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透射電鏡是一種新型高性能的大型檢測(cè)儀器,是現(xiàn)代物理以及先進(jìn)技術(shù)社會(huì)的產(chǎn)物,隨著科技的發(fā)展,透射電鏡的技術(shù)會(huì)更加先進(jìn),使用范圍也更加廣泛。

1、透射電鏡基本構(gòu)造:

照明系統(tǒng):電子槍和會(huì)聚鏡(雙聚光鏡系統(tǒng));

成像系統(tǒng):物鏡、中間鏡、投影鏡;

記錄系統(tǒng):底片照相系統(tǒng)、圖像觀察增強(qiáng)器、CCD記錄系統(tǒng)。

2、透射電鏡兩種操作模式及其原理:

成像模式:中間鏡的物平面與物鏡的像平面重合,獲得正空間信息,最終獲得顯微像。

衍射模式:中間鏡的物平面與物鏡的焦平面重合,獲得倒空間的信息,最終獲得衍射譜。利用透射電鏡中的物鏡光欄,僅選取透射束成像,成為明場(chǎng)像,若僅選取衍射束成像,形成暗場(chǎng)像。

透射電鏡基礎(chǔ)知識(shí).jpg

3、透射電鏡兩種基本樣品制備方法:

離子剪薄和雙噴。雙噴樣品有可能污染極靴。

4、透射電鏡加速電壓:

給燈絲發(fā)出的電子以電壓,使得電子獲得足夠的速度以穿透樣品。

5、電子槍:

發(fā)射電子的電極?,F(xiàn)在主要有熱發(fā)射(LaB6燈絲)和場(chǎng)發(fā)射(冷場(chǎng)發(fā)射,熱場(chǎng)發(fā)射——schottky)。

6、光闌:

透射電鏡光闌可以選擇性通過(guò)光子。

7、像散:

由于磁透鏡在兩個(gè)相互垂直的方向上聚焦能力不同,當(dāng)這個(gè)較強(qiáng)的方向聚焦時(shí),與之垂直的方向尚未聚焦;而當(dāng)較弱的方向開(kāi)始聚焦時(shí)較強(qiáng)方向散焦,因而在任何一個(gè)像面上的像都不是一點(diǎn)而是小散焦斑。

8、球差:

透鏡對(duì)離軸遠(yuǎn)的電子比離軸近的電子有更強(qiáng)的會(huì)聚能力,因而在高斯面上,一個(gè)屋的的相不再是一個(gè)點(diǎn)而是一個(gè)圓盤(pán)。

9、色差:

色差產(chǎn)生的根源是成象電子的能量分散,而磁透鏡對(duì)不同能量的電子的聚焦能力不同,因而在高斯像平面上,一個(gè)物點(diǎn)的像變成了一個(gè)圓斑。透射電鏡電子槍能量分散的原因:加速電壓波動(dòng),電子束與物質(zhì)的相互作用。

10、選區(qū)電子衍射:

進(jìn)行電子衍射分析時(shí),往往對(duì)樣品的某一微小區(qū)域的單晶電子衍射感興趣。通過(guò)選區(qū),可以直接獲得該微區(qū)的倒易點(diǎn)陣截

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透射電鏡的原理、分類(lèi)及應(yīng)用二維碼

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