萬能測量工具顯微鏡-微光學(xué)元件的量測非常方便

顯微干涉儀（Zygo ）

顯微干涉儀集合以上各種觀察角度于一身，為非接觸式、非破

壞性的測量工具，同時(shí)具體呈現(xiàn)各種量化的數(shù)據(jù)，對于各種微光學(xué)

元件的量測非常方便，但是由于其量測方法式靠光的干涉，

所以對空氣中的一些擾動皆會引響其量測值，而且元件加工后的表面粗糙

度變得非常重要，若過份粗糙時(shí)，光之反射不足，散射增加，無足

夠迴授之光與參考光干涉，因而導(dǎo)致顯微干涉儀量測上的困難。