掃描式電子顯微鏡為破壞性的量測(cè)，其必須由電子在待測(cè)元件

上流動(dòng)，因?yàn)槲覀兊幕宀牧鲜?PC 聚碳酸酯（Polycarbonate）為

絕緣體，所以必須在待測(cè)元件表面先行蒸鍍上金屬膜才能導(dǎo)電，而

我們的微光學(xué)元件均蒸鍍上一層金。功能與光學(xué)顯微鏡相類似，放

大倍率可達(dá)數(shù)萬倍，適合做細(xì)微的觀察，由于它具有傾斜角度照攝

的功能，因此可以觀察 3-D 立體結(jié)構(gòu)。

為微直角

錐陣列電顯圖，其放大倍率為 150 倍，由圖大約可看出加工后之表

面狀況，而圖（4-21）為圓弧形光罩所加工之微透鏡陣列電顯圖，

其放大倍率為 80 倍，（4-22）為半圓形光罩所加工之微透鏡陣

列電顯圖，其放大倍率也為 80 倍。