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掃描電子顯微鏡的原理試樣制程簡(jiǎn)介

掃描式電子顯微鏡
（ScanningElectronMicroscopy,SEM）

掃描式電子顯微鏡（SEM）

觀(guān)察粉末在球磨時(shí)間下，其形態(tài)與顆粒大小的變化趨勢(shì)及觀(guān)察熱壓
后塊材的表面型態(tài)。

原理為藉由電子束經(jīng)電壓加速后，經(jīng)電磁透鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)使電子束聚集至試片表面
，產(chǎn)生出二次電子等訊號(hào)，其訊號(hào)由偵測(cè)器偵測(cè)后，以訊號(hào)放大處理傳送至CRT，

試片表面之形貌等就由此同步成像方式呈現(xiàn)；試片的形貌較受到導(dǎo)電影響，若導(dǎo)電
差則需要鍍碳或鍍金