實(shí)驗(yàn)用測(cè)量工件表面粗糙度和幾何圖形測(cè)量顯微鏡

.測(cè)量工件表面粗糙度和幾何圖形方法的適用性正在研究中，對(duì)于簡(jiǎn)單的表面已得到了
和機(jī)械法側(cè)全相一致的結(jié)果.

下一步是要修正由更復(fù)雜表面所得到的結(jié)果，如車(chē)削、磨創(chuàng)和研磨的表面粗糙度.
完成了這一點(diǎn)，儀器公程便從現(xiàn)在的10μm擴(kuò)展到1mm或更大，這將極大地提高它
的使用性能。

  顯微鏡還存在由于儀器目前的結(jié)構(gòu)所強(qiáng)加的某些限制，例如它不能用于測(cè)量
小孔且需移動(dòng)工件。
未來(lái)的工作計(jì)劃是探索更合理的結(jié)構(gòu)以克服這種限創(chuàng)，例如用激光束掃描工件表
面。

  與機(jī)械式儀器相比，離子激光裝叉的價(jià)值較高.使其受到進(jìn)一步的限制，但這
究競(jìng)只是一方面的觀點(diǎn)，在那些用接觸法不合適的場(chǎng)合，這種類(lèi)型的儀器將會(huì)有
很多用途。同時(shí)還可用于標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室代替機(jī)械式儀器。

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