超聲波切割加工是利用超聲振動(dòng)工具在有磨料的液體介質(zhì)中或干磨料中產(chǎn)生磨料的沖擊、拋磨、液壓沖擊及由此產(chǎn)生的氣蝕作用來去除材料，或給工具或工件沿一定方向施加超聲頻振動(dòng)進(jìn)行振動(dòng)加工，或利用超聲振動(dòng)使工件相互結(jié)合的加工方法。 在硬脆材料去除加工領(lǐng)域，機(jī)械加工利用工具對工件的作用力去除材料，工具磨損比較嚴(yán)重；電加工性能則受到工件材料導(dǎo)電性的限制；激光加工過程中產(chǎn)生的大量熱量易使工件表面形成裂紋與發(fā)生氧化；而超聲加工是非接觸加工，加工性能不依賴于材料的導(dǎo)電性，加工過程中產(chǎn)生的切削熱也很小，是玻璃、工程陶瓷、硅晶體、石英晶體等硬脆性材料有效的加工方法。 一般的難加工材料有高溫合金、鈦合金、高強(qiáng)鋼、復(fù)合材料、陶瓷材料等，這些材料硬度高、強(qiáng)度高、不易磨損、不易氧化，以及擁有良好的耐熱性、耐腐蝕性等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)越來越廣泛地應(yīng)用在機(jī)械制造、國防以及航空工業(yè)等領(lǐng)域。例如陶瓷材料是典型的難加工材料，一直以來磨削是之前的加工方法。隨著技術(shù)的發(fā)展，人們嘗試采用超聲波、電火花、離子束、激光及復(fù)合加工等方法來加工陶瓷，并且取得了一定的研究成果。其中超聲波加工陶瓷材料有著獨(dú)特的優(yōu)勢。