合適用于測量表面粗糙度的顯微鏡有哪些特點

  定性的儀器光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡是極其靈敏的實用的檢驗
表面的儀器，雖然兩者都不特別適應(yīng)于粗糙度的定量測量。

  干涉顯微鏡——差分干涉顯微鏡提供了高分辨率觀測表面粗
糙度微小細節(jié)的一種杰出的方法，在實踐中，把表面的兩個影像
錯開一個比顯微鏡分辨率還小的距離，使干涉相消（破壞了干涉
對比度），它只是在照明象附近區(qū)域的高度方向有一個差別。

  然而系統(tǒng)十分靈敏，在正確調(diào)整后，由于對比度好，可看到
表面豐富的顯微細節(jié)。儀器的基本元件的偏振光分成兩束相干光，
在試樣上錯開約1um ，大約與顯微鏡物鏡的分辨率相等。從試樣
上反射后，光束在沃拉斯頓棱鏡復(fù)合，然后再穿過第二個起偏器，
這個起偏器和前一個起偏器正交。

  如果兩束光的光程差為零，于是出現(xiàn)一個黑的視野，在試樣
的斜坡面上的光線稍有位移就會在返回路程的光學(xué)系統(tǒng)中走過一
個不相等的路程，因此視場為一片黑的背景，而在有傾斜特征的
地方，在暗背景上出現(xiàn)亮光，在使用白光情況下，人的眼睛能高
度靈敏度分辨顏色的變化可看見圖象的差異，差分干涉對比技術(shù)
主要受不能定量評定的局限性，

  然而對于有經(jīng)驗的觀察者，這種儀器將成為觀察圖像的詳細
信息以及彩色圖譜的極其靈敏的有效工具。

(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制http://www.sgaaa.com)