機(jī)械零件加工表面粗糙度測(cè)量?jī)x-多功能顯微鏡


  在表面粗糙度和零件加工這兩個(gè)相互影響的技術(shù)領(lǐng)域中，最
重要的問題是什么？我們可能會(huì)向并欣然回答這一最顯而易見的
問題；零件生產(chǎn)成本是受表面粗糙度要求的影響嗎？回答顯然是
肯定的，而且長(zhǎng)期以來已為人們所熟知。

  （1 ）一臺(tái)測(cè)量?jī)x器或轉(zhuǎn)換器可以把表面形貌變換為某種形
式的、供數(shù)據(jù)處理用的圖象當(dāng)轉(zhuǎn)換器的靈敏元件掃過校驗(yàn)樣板表
面的柵紋路時(shí)，所獲得的現(xiàn)今最通常的圖象形式是一個(gè)電壓信號(hào)，
然而，圖象形式同樣也可能是一個(gè)干涉圖形、一個(gè)掃描電鏡的顯
微圖像或者是光截面的圖形。

  （2 ）分析裝置用于處理表面人圖象，以便能表示形貌的特
征或用簡(jiǎn)便的方法展示形貌。

  （3 ）數(shù)據(jù)顯示可包括從簡(jiǎn)單瓣模擬指示計(jì)延伸到復(fù)雜計(jì)算
機(jī)繪圖終端——能顯示表面形貌的等距三維景象或其特性曲線。
  在試圖回答關(guān)于使用什么儀器、采用哪種表征參數(shù)和要求做
哪些分析問題時(shí)，必須仔細(xì)考慮表面形貌測(cè)量系統(tǒng)的所的各部分，
尤其是他們各自的相互作用影響。例如，干涉儀具有非常優(yōu)良的
測(cè)量特征：它不接觸試樣，有大約10nm（即0.5uin）的垂直分辨
率。而且從原理上來說是精確的，但是從數(shù)據(jù)分析的觀點(diǎn)考慮，
要從干涉圖形獲得這種表征參數(shù)是比較困難和不適宜的。

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