設(shè)備: 日立環(huán)境型原子力顯微鏡　AFM5300E

　　? 日立掃描電子顯微鏡　SU3500

背景及目的

SEM是檢測(cè)電子束掃描樣品所生成的2次電子，背閃射電子，特征X射線等信號(hào)，得出樣品結(jié)構(gòu)，成分，結(jié)晶特性，元素分布等信息。另一方面，SPM是利用探針和樣品表面的相互作用，表征高精度樣品形貌及硬度和摩擦力，吸附力等敏感的力學(xué)物理特性及電流，電氣阻抗，表層電位，壓電特性，磁性等電磁物理特性。在這里我們介紹，包含氧化鉛和硫磺的橡膠樣品的SEM背閃射電子圖像和X射線面分布像及利用SPM的形貌像(AFM像)和相位像(Phase像)的觀察結(jié)果。

1) Phase像

根據(jù)樣品表面的硬度和吸附力對(duì)比，利用共振懸臂的相位變化成像物理特性的方法。

圖1　SPM、SEM的檢測(cè)信息和橡膠樣品中的應(yīng)用

2) 觀察結(jié)果

圖2　橡膠樣品的SEM、SPM觀察同一視野結(jié)構(gòu)觀察

在背閃射電子像（BSE像）里重元素的對(duì)比度高，EDX元素分析得知這個(gè)區(qū)域含有鉛元素和氧元素。SPM的Phase像觀測(cè)中我們選用兩類(lèi)橡膠的彈性有較大差別的冷卻溫度-10℃，致使微區(qū)當(dāng)中明顯區(qū)分兩種橡膠分布。SEM和SPM聯(lián)系起來(lái)，表面的形貌和元素，結(jié)構(gòu)，各種物理特性(力學(xué)特性和電磁特性)的面分析信息相結(jié)合，給基礎(chǔ)研究，產(chǎn)品研發(fā)等提供更多觀察及分析手段。

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關(guān)于日立高新技術(shù)公司：

日立高新技術(shù)公司，于2013年1月，融合了X射線和熱分析等核心技術(shù)，成立了日立高新技術(shù)科學(xué)。以“光”“電子線”“X射線”“熱”分析為核心技術(shù)，精工電子將本公司的全部股份轉(zhuǎn)讓給了株式會(huì)社日立高新，因此公司變?yōu)槿樟⒏咝碌淖庸?，同時(shí)公司名稱變更為株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué)，擴(kuò)大了科學(xué)計(jì)測(cè)儀器領(lǐng)域的解決方案。日立高新技術(shù)集團(tuán)產(chǎn)品涵蓋半導(dǎo)體制造、生命科學(xué)、電子零配件、液晶制造及工業(yè)電子材料，產(chǎn)品線更豐富的日立高新技術(shù)集團(tuán)，將繼續(xù)引領(lǐng)科學(xué)領(lǐng)域的核心技術(shù)。

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