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測量外延層厚度

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-03-12  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):941

外延淀積層的測定

  厚度與厚度梯度
  目前常用的測定法有兩種,現(xiàn)介紹如下:

磨角染色法 
外延層和襯底導(dǎo)電類型相反時使用這種方法。
  1.從待測的每片硅片上劃下一小塊。這樣做是為了識別
基座上每片硅片的位置和定位。

  2.淀積后,緊接著從前至后將每片硅片掰成兩半,并將其
中半片裝在磨角器上。大得足以固定半片硅片的磨角器將會給
測定帶來很大的方便。

  3.將硅片樣品磨出角度并用象氫氟酸加上
三滴硝酸等那樣的PN結(jié)染色液進(jìn)行染色。
  4.用標(biāo)有刻度的顯微鏡目鏡測量染色部分,或用單色光源的干涉
儀對條紋計數(shù)。


測量外延層厚度的最普通方法是紅外干涉法。此方法是根
據(jù)輕、重?fù)诫s硅之間在折射指數(shù)方面存在微小的差異。外延層
與襯底的折射指數(shù)方面的這種差異將會產(chǎn)生反射,在一定條件
下在紅外光照射下能觀察到由這種反射形成的干涉條紋。

硅相當(dāng)硬又很脆,其表面能拋光得光亮如鏡。從性質(zhì)上來
說,硅在很多方面表現(xiàn)為金屬,但在有些方面則介于金屬(導(dǎo)體)
與非金屬(絕緣體)之間。一塊0.02英寸厚的單晶硅片若變形
得厲害就要象玻璃一樣破裂,但與玻璃不同之處在于,硅單晶容
易沿某些固定的平面破裂,而玻璃則無這種情況。

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關(guān)鍵詞: 硅片 外延 染色 襯底 厚度
 
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測量外延層厚度二維碼

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