電鏡的分辨率較光學(xué)顯微鏡更高-集成電路技術(shù)研究

  亞微米技術(shù)的主要受益者將是用戶。品種范圍更為廣泛、
價格極為低廉的微處理器、微型計算機(jī)、存貯器和其它大規(guī)模集
成電路器件將會投入市場。無論雙極型注入邏輯還是MOS器
件的亞微米技術(shù)都進(jìn)展迅速。

  不斷成熟的集成電路技術(shù)所出現(xiàn)的主要突變是基于不再受
可見光或紫外光限制的制造方法。正象電子顯微鏡的分辨率
比光學(xué)顯微鏡更優(yōu)越一樣，電子束技術(shù)亦將對集成電路工業(yè)產(chǎn)
 生重大的影響。電子柬技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是電子的波長要比光的波長
短得多。目前，電子束技術(shù)與X射線技術(shù)竟相爭輝。
X射線的優(yōu)點(diǎn)在于它沿直線傳播，不象電子束那樣需要真
空，這樣就可簡化生產(chǎn)技術(shù)。
 
亞微米技術(shù)對集成電路生產(chǎn)廠的影響舉足輕重。亞微米技
術(shù)可應(yīng)用于目前生產(chǎn)的產(chǎn)品，以降低成本。半導(dǎo)體性能的基本
標(biāo)準(zhǔn)之一是每片硅片的凈合格管芯數(shù)。對今天的許多產(chǎn)品來
說，亞微米技術(shù)將顯示其優(yōu)越性。因?yàn)樵诿科杵峡芍谱鞲?br>多的電路，成品率也可提高，所以在相同功能基礎(chǔ)上每片硅片的
凈合格管芯就增加了。
  亞微米技術(shù)的研究和生產(chǎn)技術(shù)的開發(fā)一般是由目前在集成
電路工業(yè)中尚未居領(lǐng)先地位的公司進(jìn)行的。在集成電路市場上
通常被認(rèn)為是無足輕重的國際商業(yè)機(jī)器公司、北方電信公司和
休斯公司在亞微米研究方面取得了重大的成果。貝爾實(shí)驗(yàn)室、西
喇及其它類似研究機(jī)構(gòu)的內(nèi)部研究工作也可能會對集成電路
商業(yè)市場產(chǎn)生間接的影響。一個明顯的例外是得克薩斯儀器公
司所進(jìn)行的研究，該公司致力于亞微米技術(shù)的早期應(yīng)用和生產(chǎn)。

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