???我司于2016年11月在北京某研究所成功安裝美國Janis公司生產(chǎn)的高低溫真空探針臺。該探針臺變溫范圍大（8K-675K (LHe)，80K-675K（LN2）)，溫度穩(wěn)定性好（優(yōu)于10mK）。配三同軸探針臂，漏電流優(yōu)于50fA。配無油分子泵組，低溫下真空度優(yōu)于5*10-6mbar。與Keithley 4200半導(dǎo)體特性儀匹配使用，用于功能材料、拓?fù)浣^緣體、納米結(jié)構(gòu)和器件等變溫測試，也可以用于半導(dǎo)體器件、MEMS器件、超導(dǎo)器件與封裝前在真空下做原位測試以及高低溫的老化測試。

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?高低溫真空探針臺系統(tǒng)