微電子學(xué)測(cè)量和自動(dòng)化技術(shù)應(yīng)用-測(cè)量圖像顯微鏡制造

  隨著培育方法的不斷改進(jìn)，目前已經(jīng)能由不同物質(zhì)，尤其是化學(xué)
元素制取出來近乎完整的，而且含有二維或一維缺陷的單晶體，它
們接近于理想的固體，從而排除了晶體，點(diǎn)陣缺陷的干擾，可用于
一些特殊場(chǎng)合，如用來研究固體特性。

  高純材料“占領(lǐng)”了微電子學(xué)

  平面外延生長(zhǎng)技術(shù)的應(yīng)用可以說明，在現(xiàn)代微電子學(xué)中，從技術(shù)
角度看已經(jīng)卓有成疚地掌握了高純材料的使用與加工，現(xiàn)代化微電
子學(xué)電路由一單晶硅片組成，它經(jīng)過一系列連續(xù)加工步驟之后獲得
一特定結(jié)構(gòu)，首先，在晶片中搞很多彼此隔絕的區(qū)域，在這些區(qū)域
中交替地產(chǎn)生半導(dǎo)體區(qū)，按電路圖將不同區(qū)域通過用金屬連通并同
時(shí)與其它區(qū)域絕緣，通過這種方法產(chǎn)生的整個(gè)電子線路中，各個(gè)區(qū)
域承擔(dān)晶體三極管，、二極管、電阻等功能，根據(jù)目前的技術(shù)水平
，在幾平方毫米橫載面和十分之幾毫米厚的晶片上可以有10到10個(gè)
這種區(qū)域，其中每一單個(gè)區(qū)域承擔(dān)著以前單個(gè)電子元件的功能，結(jié)
果，由這些小片制成完整的電子線路，例如復(fù)雜的放大器或邏輯電
路，從而制成小型現(xiàn)代化的電子計(jì)算機(jī)和其它電子儀器。

  總之，這里粗略涉及的微電子學(xué)中的平面外延技術(shù)，是高純單晶
材料加工和應(yīng)用的一個(gè)很突出的范例，目前，在工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家用這
種方法大量生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路，微電子裝置人優(yōu)點(diǎn)主要是依可靠
性高，尺寸小，因此這種制造工藝有很好的經(jīng)濟(jì)效果，這樣就可以
使微電子學(xué)日益進(jìn)入各個(gè)生產(chǎn)領(lǐng)域，從計(jì)算技術(shù)，到測(cè)量和自動(dòng)化
技術(shù)，直到日用消費(fèi)電子產(chǎn)品，而原來微電子學(xué)主要用在宇航和軍
事技術(shù)中，此外，它也是極其充分利用材料的最先進(jìn)的事例。

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