熔體中制取各種材料的單晶體凝固樣品分析顯微鏡
由氣相、溶液或是由熔體生產(chǎn)單晶?
一般較大有單晶或由氣相、溶液和由熔體培育,在這種情況下,
前提是要有高純?cè)牧?,此外,總要有均勻穩(wěn)定的環(huán)境,即是說(shuō),
溫度變化進(jìn)程必須均勻,有規(guī)律,應(yīng)當(dāng)避免振動(dòng),為了從溶液中培
育鹽晶體,用一根細(xì)線將一小籽晶懸掛到鹽的飽和和無(wú)塵水溶液中
,讓這種溶液很緩慢地蒸發(fā),于是鹽大多在籽晶上析出,最后長(zhǎng)成
較大的單晶體。
目前,由熔體中制取各種材料的單晶體具有極其重要的意義,培
育時(shí),使熔融物質(zhì)從樣品一端開始定向凝固,從而由八既定取向的
籽晶長(zhǎng)成一個(gè)大單晶體。
喬赫拉爾斯單晶拉拔法是由熔體中培育單晶的一種最著名方法,
將整個(gè)儀器放在封閉的石英玻璃管內(nèi),從外邊感應(yīng)加熱,用帶有籽
晶的棒,經(jīng)過(guò)均勻的向上移動(dòng)并同時(shí)圍繞自己的軸旋轉(zhuǎn),從而由熔
體拉出單晶,為排除不希望出現(xiàn)的反應(yīng),坩堝要用高純材料制成,
設(shè)備的內(nèi)腔有純凈的惰性氣體通過(guò),拉制晶體期間,旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)改進(jìn)
了熔體的混合并產(chǎn)生均勻的溫度分布,適當(dāng)控制拉拔速度,可使小
的籽晶長(zhǎng)成一般粗的晶棒,半導(dǎo)體技術(shù)中硅和鍺單晶體的常用尺寸
為:長(zhǎng)20到40厘米,直徑介于2至5厘米之間,但最近越來(lái)越多地制
出直徑達(dá)10厘米的較大晶體,這對(duì)于制造大功率元件速度大多的每
小時(shí)1到100毫米范圍內(nèi),過(guò)程進(jìn)展比較迅速,在半導(dǎo)體技術(shù)中,通
常往往所有晶體中摻入,即置換型點(diǎn)缺陷在晶體內(nèi)可能地呈均勻分
布。
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