光學車間檢測

  共焦顯微鏡共焦顯微鏡是商用化最成功的一個光學聚焦傳感系
統(tǒng)，該系統(tǒng)最早用來進行生物樣品的檢測，近來在工程表面的測量
上也得到了應用干涉型光學輪廓儀

  (1)雙波長和多波長干涉測量最早的干涉型光學輪廓儀使用的
是單色光照明，同時使用了相移技術(shù)。使用相移技術(shù)可以獲得最高
測量精度，但是單色光照明卻限制了測量的范圍。為了能夠擴大測
量范圍，進一步發(fā)展了雙波長和多波長技術(shù)。如今雙波長和多波長
干涉測量原理還在全息和散斑技術(shù)中使用，用來測量大口徑元件，
其間用到了條紋投影和結(jié)構(gòu)光技術(shù)

  (2)白光干涉測量  白光干涉測量系統(tǒng)早已被確立為用于工程
表面測量的主導光學輪廓儀。白光干涉測量可以看做一種光學聚焦
傳感器，干涉信號的位置確定了最佳焦點。這類設備的典型結(jié)構(gòu)是
由一個傳統(tǒng)的顯微鏡配備一個干涉物鏡組成。這種干涉測量技術(shù)相
比其他光學和探針輪廓技術(shù)而言，其優(yōu)勢在于是進行全場掃描而非
點到點的掃描。由于整個面積的成像是同時完成的，橫向掃描變得
不再必要，這也極大地提高了測量速度。

  (3)光譜干涉儀另一種干涉技術(shù)是基于觀測由很多波長光束所
形成的干涉條紋，這種條紋稱為光譜干涉條紋。光譜干涉可以通過
在干涉儀中使用一個波長可調(diào)諧光源來獲得，或者在干涉儀的出射
端放置一個色散元件來實現(xiàn)。不同的系統(tǒng)則分別稱為波長掃描干涉
儀或光譜分辨白光干涉儀。這種測量技術(shù)不再是探測每一個點的最
佳焦點，而是對攜帶測量對象位置信息的條紋周期進行測量。這一
技術(shù)避免了軸向機械掃描。

  (4)光學測距傳感器在干涉光學輪廓儀中使用的技術(shù)常常建立
在干涉光學測距傳感器技術(shù)之上，或者說是基于該傳感技術(shù)獨立發(fā)
展而成，這種傳感技術(shù)主要用在基于單個點的絕對距離或長度的測
量上。要進行單點探測，就要使用更快速的探測器和光電器件，也
就是特殊任務的信號處理技術(shù)。

  (5)偏振干涉儀一些干涉儀則利用了光的偏振特性，從而使得
兩個光束在干涉儀中幾乎以相同的路徑進行傳輸，就像在微分干涉
顯微鏡中一樣。偏振干涉儀利用偏振來實現(xiàn)相移，這樣通常能夠降
低對振動的敏感性。光的偏振特性在評估一些亞微結(jié)構(gòu)特性時是很
有效的。

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