通過玻璃板或流體介質(zhì)的測量

  一些工程對象，如MEMS系統(tǒng)，通常用防護(hù)玻璃罩進(jìn)行保護(hù)，在
環(huán)境艙中一些設(shè)備需要在不同的壓強(qiáng)及溫度下進(jìn)行檢測。這些對象
的檢測需要經(jīng)過玻璃防護(hù)罩進(jìn)行。生物樣本通常是泡在液體中的，

  對其測量則需要通過液體。因為液體層或玻璃保護(hù)罩的色散，
白光條紋可能會全部消失。

  因此，需要在干涉儀的參考臂上引人一個補(bǔ)償板。這種補(bǔ)償方
式對于邁克耳遜型的物鏡是最容易實現(xiàn)的。此外，對于那些用在照
明和成像光學(xué)系統(tǒng)中的數(shù)值孔徑更高的物鏡，條紋的對比度減小得
更快。針對這些更高數(shù)值孔徑的物鏡引人補(bǔ)償也很難。對于這種具

有高的數(shù)值孔徑物鏡的系統(tǒng)，為了增加針對具有高數(shù)值孔徑物鏡系
統(tǒng)的條紋對比度，降低照明的數(shù)值孔徑可以通過直接將一束數(shù)值孔
徑很低的近準(zhǔn)直照明光束入射到物鏡下方的干涉儀中而不經(jīng)過物鏡
來實現(xiàn)，

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