接觸式孔徑測(cè)量?jī)x的優(yōu)點(diǎn)-光學(xué)測(cè)量?jī)x器原理

誤差分析
  接觸式孔徑干涉儀較前面介紹的儀器有兩個(gè)優(yōu)點(diǎn)：一是量塊不用
組合戲標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)尺寸框，而是將孔徑直接與兩個(gè)外尺寸比較，這樣就
減少了組合成內(nèi)尺寸時(shí)的誤差因素。二是由于不使用標(biāo)準(zhǔn)尺寸框比
較，因而也就避免了測(cè)量時(shí)找標(biāo)準(zhǔn)框的最小尺寸及由此而產(chǎn)生的測(cè)
量誤差。同時(shí)儀器在設(shè)計(jì)時(shí)，已從結(jié)構(gòu)上就保證了標(biāo)準(zhǔn)量塊的中心
長(zhǎng)度尺寸與測(cè)量方向平行。從而提高了測(cè)量精度。

  用接觸式干涉儀測(cè)量孔徑，由于沒有阿貝誤差，故可忽略導(dǎo)軌
運(yùn)動(dòng)精度的影響。其主要誤差包括：①讀數(shù)系統(tǒng)的誤差；②測(cè)球檢
定誤差；③測(cè)球定位誤差；④溫度的影響；⑤測(cè)力帶來(lái)的誤差等。
  讀數(shù)系統(tǒng)的誤差包括定度誤差和測(cè)量時(shí)的估讀誤差。前面已經(jīng)
提到，儀器是利用鼓輪推動(dòng)光楔改變光程長(zhǎng)度來(lái)讀數(shù)的，而讀數(shù)鼓
輪是由波長(zhǎng)來(lái)定度的。其具體方法是在光路中插人一塊波長(zhǎng)值已精
確檢定過(guò)的濾光片，產(chǎn)生單色光干涉。

  非接觸式孔徑干涉儀的測(cè)量部件由接觸式干涉比較儀的干涉計(jì)
管改裝而成。將干涉計(jì)管的參考鏡換成本裝置中的帶棱鏡的測(cè)量頭
，將干涉計(jì)管中帶測(cè)頭的測(cè)量反射鏡改裝成可變更其到分光鏡距離
的參考反射鏡即可。本裝置測(cè)量時(shí)，測(cè)量頭不動(dòng)，而是由工作臺(tái)帶
動(dòng)工件運(yùn)動(dòng)，以便工件進(jìn)入測(cè)量位置。光源用汞燈源，以便形成單
色光干涉。用它來(lái)對(duì)干涉儀進(jìn)行定度，同時(shí)由于單色光干涉時(shí)的光
程差變化范圍大，易于看見干涉條紋，調(diào)整方便。

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