近日，安捷倫發(fā)布了全新一代高真空渦輪分子泵 TwisTorr 704FS。作為一款加持了諸多“黑科技”的全新產(chǎn)品，TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵在具有高性能、高可靠性的同時(shí)，還能做到更經(jīng)濟(jì)。

　　首先，高真空渦輪分子泵是什么?

　　渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵，典型的工作壓力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在極限狀態(tài)下，可以通過它實(shí)現(xiàn) 0.00000001Pa(大氣壓的十萬億分之一)的超高真空。渦輪分子泵可以用于各類質(zhì)譜儀(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、鍍膜機(jī)、電子顯微鏡(SEM、TEM)、聚焦離子束系統(tǒng)(FIB)、表面分析儀器，高能物理實(shí)驗(yàn)裝置、粒子加速器、高真空實(shí)驗(yàn)裝置等諸多應(yīng)用。

　　高真空渦輪分子泵內(nèi)有一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)(每分鐘幾萬轉(zhuǎn))的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子上有渦輪和拖動(dòng)級進(jìn)行抽氣。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，市場不僅對泵性能的要求越來越高，更對其小型化、高可靠性、維護(hù)方便性及靈活易用性等都提出了更高的要求。下面就來看看，為了滿足這些要求，安捷倫最新的高真空渦輪分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧。

　　“黑科技” No.1 TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)

　　通常的分子泵拖動(dòng)級采用圓柱螺旋形的溝槽，而安捷倫 TwisTorr 技術(shù)把拖動(dòng)級放在了薄薄的圓盤上，這樣就可以在有限的空間內(nèi)集成多對拖動(dòng)級轉(zhuǎn)子盤和定子盤，節(jié)省空間的同時(shí)又能提高效率和性能。

　　采用該技術(shù)的分子泵尺寸會(huì)更緊湊，并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比(特別是對小分子氣體的高壓縮比)可以帶來更好的極限真空，而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵，從而降低了整個(gè)真空系統(tǒng)的成本和尺寸。

　　“黑科技” No.2 AFS 安捷倫懸浮軸承技術(shù)

　　一般的渦輪分子泵的設(shè)計(jì)，泵的軸承是通過過盈配合與轉(zhuǎn)子及泵體軸承座緊密連接的，一旦泵體有振動(dòng)或沖擊，這些振動(dòng)就會(huì)傳遞到軸承，并且通過軸承傳遞到轉(zhuǎn)子。由于渦輪分子泵的軸承和轉(zhuǎn)子都在高速轉(zhuǎn)動(dòng)，對振動(dòng)特別敏感，傳遞到軸承的振動(dòng)會(huì)影響軸承的壽命，傳遞到轉(zhuǎn)子的振動(dòng)會(huì)造成轉(zhuǎn)子發(fā)生位移，甚至?xí)c泵體或定子接觸。而一旦高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子與其它靜止的部分接觸，巨大的沖擊力會(huì)立即造成轉(zhuǎn)子葉片的破碎，整泵也隨之報(bào)廢。

　　安捷倫 AFS 懸浮軸承系統(tǒng)，采用特殊的彈性材料隔離轉(zhuǎn)子與泵體，避免轉(zhuǎn)子和軸承受到從泵體傳來的沖擊;并且由于彈性材料的阻尼效應(yīng)，可以吸收各種振動(dòng)的能量，降低整泵的噪音和振動(dòng)，保證最佳的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，確保長時(shí)間工作的穩(wěn)定性。

　　“黑科技” No.3 特殊潤滑劑永久潤滑軸承

　　使用渦輪分子泵的高真空環(huán)境對潤滑油或潤滑脂非常敏感，因?yàn)樵诟哒婵窄h(huán)境下，潤滑油或潤滑脂非常容易汽化。一方面，這些油脂類的蒸氣會(huì)形成一種氣源，影響系統(tǒng)的真空度和純凈度;另一方面，這些蒸氣進(jìn)入到真空腔體后，會(huì)冷凝附著在其它零件上，影響高真空系統(tǒng)內(nèi)相關(guān)設(shè)備的工作。

　　TwisTorr 704 FS 采用安捷倫與軸承廠家合作研發(fā)的特制軸承，能夠任意方向安裝;并且，由于其使用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低，正常使用時(shí)幾乎沒有損耗，使得該泵在整個(gè)壽命周期內(nèi)都無需進(jìn)行加注潤滑脂、更換油棉等維護(hù)。

　　“黑科技” No.4 分子泵控制器 “3D” 控制軟件

　　早期的分子泵控制器又叫分子泵電源，其最重要的功能是向分子泵供電;后來，改進(jìn)型的控制器具備了一定的保護(hù)功能，可以監(jiān)控分子泵的功率和溫度，相當(dāng)于為分子泵的工作狀態(tài)設(shè)置了一條紅線，分子泵只能在這條線以下工作(2D)，若超過這條線控制器就會(huì)報(bào)警停機(jī)。

　　與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器，變被動(dòng)保護(hù)為主動(dòng)調(diào)整，可以根據(jù)不同的工藝條件，自動(dòng)調(diào)整輸出功率和轉(zhuǎn)速，使泵在保證自身安全的同時(shí)，始終工作在一個(gè)達(dá)到最優(yōu)性能的曲面上(3D)，達(dá)到最佳的氣載量和壓縮比。同時(shí)因?yàn)楸苊饬朔肿颖贸?fù)荷運(yùn)行，可以延長其使用壽命。

　　與 704FS 同時(shí)發(fā)布的還有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一個(gè)完整的系列。