電鏡分辨率較高和景深大約為光學(xué)顯微鏡10倍

作為現(xiàn)代顯微分析儀器的主要手段．掃描電鏡可以以較高的分辨率
(0.4～3nm)和大的景深(約為光學(xué)顯微鏡的10倍)清楚地顯示材料
的表面和斷面信息、提供材料的優(yōu)劣原因等，廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域
．并日益受到人們的重視。
  掃描電鏡特點

  掃描電鏡 具有操作簡便且得到的顯微結(jié)構(gòu)信息直觀的特

點．成為目前材料微區(qū)顯微結(jié)構(gòu)觀察和成分分析最常見的工具。
掃描電鏡的主要特點如下：
  (1)圖像分辨率高、放大倍率大。目前掃描電鏡的分辨率為
3～O．4 nm．相對應(yīng)最大有效放大倍率可達10萬～150萬。
  (2)景深大。一般情況下．掃描電鏡的景深是透射電鏡的10
倍，是光學(xué)顯微鏡的100倍，特別適合觀察一些粗糙不平的斷門。
  (3)無損分析。對大部分材料，只要尺寸能夠放人樣品室的話，
就可采用合適的條件。無須對試樣進行任何處理，直接進行觀察
分析。
  (4)試樣制備簡單。試樣可以是自然表面、斷口、塊體、反光
  掃描電鏡的發(fā)展簡史

  掃描電鏡的基本原理由Knoll于20世紀30年代提出。隨后Arden
ne于1938年通過理論計算和實驗對磁透鏡系統(tǒng)進行了改進，從而能
夠縮小電子束斑直徑以得到更高的分辨率。Ardenne的實驗裝置實
際上是掃描透射電鏡(scaming transmission electronmicroscopy
．STEM)，既允許電子穿透薄樣品直接在膠卷上成像．同時也可以
通過收集二次電子與背散射電子信號通過陰極射線管成像。

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