據(jù)日經(jīng)中文網(wǎng)6月16日報道，由日本電子零部件企業(yè)田村制作所和AGC等出資成立的Novel Crystal Technology在全球首次成功量產(chǎn)以新一代功率半導(dǎo)體材料“氧化鎵”制成的100毫米晶圓。將于2021年內(nèi)開始供應(yīng)晶圓?？蛻羝髽I(yè)可以用支持100毫米晶圓的現(xiàn)有設(shè)備制造新一代產(chǎn)品，有效運用過去投資的老設(shè)備。

報道指出，在日本政府的半導(dǎo)體戰(zhàn)略中，功率半導(dǎo)體被視為日本企業(yè)保持國際競爭力的領(lǐng)域之一。功率半導(dǎo)體材料目前處于過渡期，現(xiàn)在的主流材料是硅，碳化硅（SiC）和氧化鎵等材料的開發(fā)不斷推進。此次成功實現(xiàn)晶圓量產(chǎn)化的氧化鎵有望在相關(guān)競爭中占據(jù)優(yōu)勢。

報道還稱，這次氧化鎵成功量產(chǎn)對客戶企業(yè)也有好處，由于可以用支持100毫米晶圓等的現(xiàn)有設(shè)備來生產(chǎn)半導(dǎo)體，能夠控制住設(shè)備投資。日本半導(dǎo)體廠商擁有過多的老式生產(chǎn)設(shè)備，這些設(shè)備有望得到有效利用。此外，Novel Crystal Technology還計劃2023年供應(yīng)150毫米晶圓。

根據(jù)Novel Crystal Technology官網(wǎng)介紹，該公司于2019年成功開發(fā)出高質(zhì)量2英寸（50.8毫米）氧化鎵外延片，并于2019年初開始生產(chǎn)銷售。但由于成本不相匹配而沒有功率器件的量產(chǎn)線，該晶圓的用途僅限于研發(fā)。這次，該公司成功開發(fā)高品質(zhì)β型氧化鎵100mm外延片，這使得在100毫米生產(chǎn)線上制造氧化鎵功率器件成為可能。