儀器信息網(wǎng)訊 2019年4月3日，日立高新技術(shù)公司(TSE：8036，日立高新技術(shù))正式推出中型掃描電鏡“SU3800”與大型掃描電鏡“SU3900”。——搭載多功能超大樣品倉，進(jìn)一步提高操作性能。上述機(jī)型在支持超大/超重樣品測試的同時(shí)，還通過自動(dòng)化操作和大視野相機(jī)導(dǎo)航功能，大幅提升了操作性能。

SU3800

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SU3900

　　【產(chǎn)品背景】

　　在以納米技術(shù)和生物技術(shù)為主的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域里，從物質(zhì)的微細(xì)結(jié)構(gòu)到組成成分，SEM在多種多樣的觀察與分析中得到了靈活應(yīng)用。SEM用途日益擴(kuò)大，但對于鋼鐵等工業(yè)材料和汽車零配件等超大/超重樣品，由于電鏡樣品臺(tái)能對應(yīng)的樣品尺寸和重量受到限制，所以觀察時(shí)需要進(jìn)行切割等加工。因此，對超大樣品不施以加工處理，便可直接觀察表面微細(xì)形貌和進(jìn)行各種分析則成為重要的課題。

　　近年來為了實(shí)現(xiàn)各種材料的高功能化和高性能化，需要觀察并優(yōu)化材料的微細(xì)結(jié)構(gòu)。目前SEM的應(yīng)用除了以往的研究開發(fā)以外，已擴(kuò)展到質(zhì)量和生產(chǎn)管理方面，使用頻率日益高漲。同時(shí)市場也對儀器的操作性能提出了更高的要求，以進(jìn)一步減輕操作人員的負(fù)擔(dān)。

　　此次發(fā)售的“SU3800”與“SU3900”，支持超大/超重樣品的觀察，特別是大型掃描電鏡“SU3900”，可選配最大直徑300mm *1、最大承重5kg樣品(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品臺(tái)，即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。

　　同時(shí)操作性能也得到了全面升級。樣品安裝完成后，通過自動(dòng)光路調(diào)整及各種自動(dòng)功能調(diào)整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像，真正實(shí)現(xiàn)了快速觀察。

　　前代機(jī)型是僅僅通過CCD導(dǎo)航相機(jī)的單一彩色圖像尋找視野*3。新機(jī)型則通過旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，分別拍攝樣品各個(gè)部分，再將各個(gè)圖像拼接成1張大圖像，實(shí)現(xiàn)了大視野的相機(jī)導(dǎo)航觀察，十分適用于超大樣品的大范圍觀察。

　　另外，日立高新技術(shù)預(yù)計(jì)于4月29日(星期一)至5月1日(星期三)在美國(克利夫蘭)舉辦的“CeramicsExpo ”及5月7日(星期二)至5月10日(星期五)在德國(斯圖加特)舉辦的“33rd　Control ”以及9月4日(星期三)至9月6日(星期五)在日本(幕張展覽館)舉辦的展覽會(huì)上進(jìn)行實(shí)機(jī)展示。

　　作為最先進(jìn)、最前沿的事業(yè)創(chuàng)新型企業(yè)，日立高新技術(shù)集團(tuán)以成為提供高新技術(shù)和解決方案的全球一流企業(yè)為目標(biāo)，始終從客戶立場出發(fā)，快速滿足客戶和市場需求。

　　*1 直徑為300mm的樣品臺(tái)，與前代機(jī)型“S-3700N”一樣

　　*2 指與前代機(jī)型 “S-3700N”的比較。但比較的內(nèi)容僅限于樣品臺(tái)平面移動(dòng)時(shí)的限制重量

　　*3 尋找視野：指測量開始時(shí)，確認(rèn)當(dāng)前測量樣品位置的操作

　　【主要特點(diǎn)】

　　(1) 支持超大/超重樣品測試

　　可搭載的最大樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對最大高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立高新技術(shù)的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載最大直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對最大高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品

　　(2) 支持大視野觀察

　　■“SU3800”與“SU3900”的最大觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

　　■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上指定觀察目標(biāo)位置，即可移動(dòng)視野

　　■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動(dòng)拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

　　(3) 通過自動(dòng)化功能提高操作性能

　　■通過自動(dòng)光路調(diào)整和各種自動(dòng)化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動(dòng)功能執(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)型*4縮短了三分之一以下

　　■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件，自動(dòng)監(jiān)控鎢燈絲*5的狀況，顯示預(yù)計(jì)的更換時(shí)期。在長時(shí)間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時(shí)，也可避免長時(shí)間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。

　　*4. 指與前代機(jī)型 “S-3700N”的比較。

　　*5. 鎢燈絲：在真空中，通電加熱后產(chǎn)生熱電子的鎢燈絲作為電子源的核心部件，起到光源作用。

　　【主要規(guī)格】主要參數(shù)SU3800SU3900

二次電子像分辨率

3.0nm　(加速電壓：30kV、高真空模式)

15.0nm　(加速電壓：1kV、高真空模式)

背散射電子像分辨率

4.0nm　(加速電壓：30kV、低真空模式)

加速電壓

0.3～30kV

倍率

×5～×300,000 (底片倍率)、×7～×800,000 (顯示倍率)

樣品臺(tái)

X：0～100mm、Y：0～50mm、Z：5～65mm、T：-20°～90°、R：360°

X：0～100mm、Y：0～50mm、Z：5～65mm、T：-20°～90°、R：360°

可搭載樣品最大尺寸

直徑200mm

直徑300mm

可觀察最大范圍

直徑130mm(R聯(lián)用)

直徑200mm(R聯(lián)用)

最大樣品高度

80mm(WD=10mm)

130mm(WD=10mm)

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