電子圖像檢測(cè)可提供比光學(xué)顯微鏡更高分辨率

使用電子顯微分析方法分析金屬材料試樣，就是利用電子束和
試樣相互作用后，所發(fā)生的幾個(gè)“事件”。

 總之，二次電子信號(hào)主要是用于確定表面
形貌，并提供斷口表面的圖像。已經(jīng)浸蝕的金相試樣也可使用二次
電子圖像進(jìn)行檢測(cè)，可提供比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率。背散射電
子信號(hào)提供了很好的原子數(shù)對(duì)比，

可用于評(píng)估局部的成分差異。許多現(xiàn)代掃描電子顯微鏡允許混
合使用二次電子信號(hào)和背散射電子信號(hào)，同時(shí)提供斷口形貌和成分
信息。最后，電子束和試樣作用后所產(chǎn)生的x射線可用于成分的半
定量分析。雖然x射線的成分分析結(jié)果不如電子探傷微觀分析的成
分那樣精確，但用x射線收集到的信息，鑒別相和化合物時(shí)會(huì)很有
用。x射線分析的分辨率限定在1～2μm，這種方法不適用于精確分
析輕元素(如C、0、N)，除非在設(shè)備上配備一個(gè)特殊的探測(cè)器。

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