近年來，隨著科學技術的飛速發(fā)展，氦質(zhì)譜法檢漏及其應用技術不斷發(fā)展和完善。 世界各地的制造商推出了各種類型的氦質(zhì)譜檢漏儀，廣泛應用于航空航天、電力電子、汽車、制冷和醫(yī)藥等行業(yè)。 綜觀新型氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點，氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進方向發(fā)展，這些特點滿足了檢漏應用的需要，推動了氦質(zhì)譜法檢漏技術的發(fā)展。

氦質(zhì)譜檢漏儀原理: 氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。 質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。 質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉(zhuǎn)時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。 氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。

氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理。 當樣品的密封面發(fā)生泄漏時，氦和其他元件的泄漏氣體會從泄漏孔中泄漏出來。 當泄漏氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。 在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。

根據(jù)氦氣儲氣庫位置與樣品的不同關系，氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法，總結了這4種氦質(zhì)譜法檢漏方法的檢測原理、優(yōu)缺點和檢測標準。

得到氦質(zhì)譜檢漏器的主要性能指標

1.較小檢漏率: 即氦質(zhì)譜檢漏器能檢測到的較小泄漏率。

2.響應清除時間: 當一定流量的勘探氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間，漏率指示器可以達到較大值，漏率指示器不能立即恢復到零，需要一定時間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時間略長于響應時間。

3.啟動時間: 氦質(zhì)譜泄漏探測器開啟電源和能夠探測到泄漏之間的時間